2021年11月16日

東京エレクトロン、21年度上期売上高は前年度比40%増、フラットパネルディスプレイ製造装置は前年度比42%減

2021/11/16 グローバルネット

東京エレクトロンは2021年11月12日、2022年3月期第2四半期(2021年7月〜9月)および2021年度上期(2021年4月〜9月)業績を発表した。

2021年度第2四半期売上高は4,804億円で、前年度同期比6.3%増、前期比6.3%増となった。営業利益は1,382億円で、前年度比80.7%増、前期比では6.3%減。純利益は998億円で、前年度同期比17.8%増、前期比で0.5%減。設備投資額は145億円となった。

半導体製造装置(SPE)売上高は4,678億円で、前年度同期比41.1%増、前期比6.8%増。営業利益は1,530億円で、前年度同期比79.2%増、前期比横這い(2億円増)となった。

地域別では日本11.5%、北米13.2%、欧州4.3%、韓国20.0%、台湾21.9%、中国23.3%、アジア・その他が5.7%。

新規装置のアプリケーション別比率は、DRAM29%、不揮発メモリ18%、ロジック/ファウンドリ/その他が53%。

フラットパネルディスプレイ製造装置(FPD)売上高は125億円で、前年度同期比42.1%減、前期比からも10.6%減となった。

フィールドソリューション事業の売上高は1,205億円。このうちSPE向けは1,173億円、FPD向けは31億円となった。

2021年度の上期売上高は前年度比39.6%増の9,325億円、営業利益は同86.3%増の2,746億円、純利益は同78.7%増の2,002億円となった。SPE売上高は同42.5%増の9,057億円、FPD売上高は同18.2%減の266億円となった。

2021年度通期に関しては、全社売上高は前年度比35.8%増の1兆9,000億円。SPEが同39.9%増の1兆8,400億円、FPDは同28.3%減の600億円と予想している。SPEのアプリケーション別比率は、DRAMが22%、不揮発メモリが23%、ロジックファンドリ/ロジック・その他が55%と予想している。
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2021年10月21日

UBIリサーチから、「2021 Display応用インクジェット技術動向レポート」を発刊

2021/10/21 UBIリサーチ

インクジェット技術は、機能性材料のインクを印刷して製作する印刷電子領域とディスプレイ分野で様々に使用されている。ディスプレイにインクジェット技術を初めて試みられたのは、高価な露光装置を使用せずに材料の使用効率を最大化するためのLCDのカラーフィルタの製造であった。
現在はOLEDを製造する技術として、溶液プロセスOLED(Sol OLED)では画素の製造工程に、そして封止工程、QD-OLEDのQD(量子ドット)層の製造に活用されている。さらに、次世代ディスプレイであるQLED(quantum LED)とQNED(quantum dot nano-rod LED)の画素製造工程にインクジェット技術が使用されている。その他の応用分野としては光取り出しのためのマイクロレンズ製造もある。

QNED製造技術と装置に関してはまだ報告されたことがないので、本報告書ではOLEDとQLEDに使われているインクジェット装置と技術を中心に作成された。インクジェット装置はインクジェットヘッドとシステムを製作する企業を区分して作成された。

インクジェットヘッドメーカーとしては、Fujifilm Dimatix、エプソン、コニカミノルタ、リコー、Xaar、パナソニックについて触れており、OLED封止用装置としてはKateevaとUniJetについて記述した。

Sol OLEDに使用されるインクジェット装置メーカーとしてはLitrex、TEL(東京エレクトロン)、Kateeva、パナソニック プロダクションエンジニアリング、東レエンジニアリングについて言及されている。



「2021 Display応用Ink-jet技術動向レポート」は、日本語のPDF版(ページ数は115ページ)で販売します。シングルユーザ―版の価格は税別で385,000円です。マルチユーザ―版が税別577,500円です。販売は分析工房が行い、メールでUBIリサーチから納品します。納品書と請求書は分析工房から郵送でお届けします。

 1) シングルユーザ―は3名まで購読が可能で、PDFファイルは印刷とファイルcopyは不可能
 2) マルチユーザ―は全社購読が可能で、PDFファイルは印刷とファイルcopyは可能

レポートサンプルなど詳しい説明は、こちらをご覧ください。

UBIリサーチ_2021 Display応用Ink-jet技術動向レポート_サンプル_page-0002.jpg
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2021年09月10日

次世代ディスプレイの性能検査を無人化へ 中国新興が全自動検査設備を開発

9/10(金) 36Kr Japan

次世代ディスプレイの検査設備を生産する「特儀科技(TEYI Technology)」がシリーズA+で1億元(約17億円)規模の資金を調達した。国家中小企業発展基金(China SME Development Fund)が出資を主導し、合肥芯屏基金やアモイ市の科学技術局などが出資に加わった。調達した資金は次世代ディスプレイや半導体設備の研究開発、新工場における生産規模の拡大に充て、業界内での優位性をさらに高めていくとしている。

同社は主に液晶(LCD)、有機EL(OLED)、マイクロ有機EL、ミニLED、マイクロLEDパネルの光学検査設備の開発と販売を行っており、ディスプレイの製造過程における外観、スクリーン、パラメーター、光学性能、信頼性などの検査を行う製品を提供している。性能検査はディスプレイ製造に関わる全プロセスをカバーしており、検査作業は無人化を実現した。最新のマイクロ有機EL検査設備はディスプレイ製造大手「BOE(京東方)」など複数の企業が導入しているほか、ミニLED、有機EL、液晶パネルの検査設備も国内大手企業で利用されている。

ディスプレイ産業では現在、液晶から有機ELへのシフトが進んでいる。有機ELディスプレイは機能面で優れているものの、高価で消費電力が大きく、劣化が早いなど欠点も多い。そんな中、今年4月にアップルが発表したミニLED搭載の「Liquid Retina XDRディスプレイ」は、ミニLED技術が成熟しつつあることを印象づけるものとなった。ミニLEDディスプレイは細かく区切ったエリアごとにバックライトの明るさを変えられるため、高輝度、高コントラスト比で、広色域を実現できる。しかも薄型軽量で消費電力も小さい。

業界では、今後ミニLEDやマイクロLEDがディスプレイの主流になっていくとの見方が強い。市場調査会社「TrendForce」は、2018年に7800万ドル(約86億円)だったミニLED・マイクロLEDの市場規模が2024年には42億ドル(約4600億円)に拡大し、年平均成長率は94%に達すると予測している。統計によると、2020年に中国で同分野に関連した資金調達は公表されているものだけで24件にのぼり、総調達額は250億元(約4300億円)を超えるという。

マイクロ有機EL、ミニLED、マイクロLED技術が成熟し、実用段階に進むにつれて、小型や超小型のディスプレイ向け検査システムも市場にあふれるようになった。特儀科技はこの分野に早くから参入しており、2018年には中国初となるマイクロ有機EL生産ラインの自動検査設備を受注した。製品ラインにはマイクロ有機ELウエハー検査システム、モジュール検査システム、寿命試験システム、光電性能評価システムが含まれている。次世代ディスプレイを巡り各社が火花を散らす中、早くから製品戦略を組み立ててきた特儀科技は、今や国内トップの検査設備メーカーになりつつある。

フラットパネルディスプレイ技術の進歩により、ディスプレイ検査の分野にも大きなチャンスが巡ってきたと特儀科技は指摘する。同社の中心メンバーは業界の第一線で10年以上のキャリアを積んでおり、的確な市場予測ができるという。さらに豊富な知識と実践経験、精密機械や自動化に関する優れた開発スキル、自社開発した小型・超小型向け検査システムのアルゴリズムなど多方面の強みを持っている。

特儀科技の年間売上高は2018年から2020年まで毎年ほぼ倍増しており、現時点の受注状況からすると今年も倍増が期待できるという。マイクロ有機EL、ミニLED、マイクロLEDディスプレイへの投資熱は冷める気配がないため、今後の業績も好調な伸びを維持できる見込みだ。
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2021年09月03日

ケイピーエス、第8世代基板(8G)でのOLEDパネル製造用の蒸着マスク(FMM)引張装置の特許出願

2021.09.01 韓経ドットコム

超精密な有機EL(OLED)のプロセス装置メーカーのケイピーエスが、次世代パネルの製造技術の開発を加速している。サムスン、LGなどの主要なディスプレイ企業が既存の第6世代にとどまっていた中小型OLEDパネルの製造技術の第8世代への移行を急いでいるからである。

ケイピーエスは第8世代OLEDパネルに適用される「FMM(Fine Metal Mask)引張装置」、「FMMアセンブリの製造方法」の特許出願を完了したと1日に明らかにした。今回の特許は、中大型サイズFMMの位置を正確に整列した後、固定させる方法と装置に関する発明であり、今後、次世代OLEDパネル装置の商用化と量産のための重要な技術である。

ディスプレイ産業で「世代」は、ガラス基板のサイズをいう。コスト削減だけでなく、大量供給のためには第8世代への転換が求められている。第6世代ガラス基板サイズは横1500mm縦1850mm、第8世代は2200mm、2500mmである。

先にケイピーエスは、2020年2月に情報技術(IT)の「蒸着マスクと製造方法とマスク組立体を利用した有機EL装置」の特許も登録している。同年7月には、特許技術を適用したFMM製造装置を独自に開発した後、試作品まで製造した。

このように開発中のFMMは「セル」の単位マスクを一つずつ組み立てて、「フル」サイズのマスクを完成する方式である。この方法を適用すると、既存のIT用蒸着マスクの問題点であるマスクの表面のしわや大画面の製作時の課題を解消することができるというのが会社側の説明である。ケイピーエスは、このような方法で15インチクラスのノートパソコン用のマスクを製作し、今年の年末までに最終的な蒸着テストを終える計画である。

FMMはOLEDパネルの製造工程に欠かせない素材である。OLEDは、R(赤)G(緑)B(青)画素を作るのに必要な発光体(有機物)を基板に蒸着して画像を表現しなければないからだ。FMMは、これまでのスマートフォンのような比較的小さなサイズのディスプレイパネル製造に使われた。

キム・ジョンホOLED事業部代表は「市場が拡大され、タブレットPCやノートPCなどの中型サイズ以上のOLEDパネルを作ることができる精密な装置の開発が必要な状況」と「IT機器向けの第8世代基板の蒸着マスクの場合、引張(Streching)時には、スマートフォン製造の6世代に比べて、たわみおよびしわの発生がひどいと予想され、さらに精密な製造技術が要求される」と強調した。

実際にサムスン、LGなどの主要ディスプレイ企業はOLEDパネルの製造技術と関連して第8世代への移行を準備中である。LGディスプレーは来る2024年3月までにOLED増設に3兆3000億ウォンを投資することにし、サムスンディスプレイも、アップルのアイパッド用OLEDを供給(2023年初め)する予定であることが分った。

ギムハヨンケイピーエス総括代表は「第8世代OLEDの重要技術の研究開発を先行させ」と「市場を先取りするために、特許出願に加えて、本格的な投資を始めた」と述べた。

ケイピーエスの今年上半期末基準の国内特許登録件数は19件、特許出願は3件である。昨年10月に米国で「垂直型の蒸着装置のためのマスクフレーム組立装置(引張機)及びその方法に関する技術」の特許を登録している。
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2021年08月18日

東エレクが業績上方修正、配当予想も 半導体装置の需要継続

8/16(月) ロイター

[東京 16日 ロイター] - 東京エレクトロンは16日、2022年3月期の業績予想を上方修正し、営業利益の見通しを4420億円から5080億円に引き上げた。5G向けなど半導体の需要が旺盛で、同社の手掛ける製造装置の市場拡大が続くとみている。

IBESがまとめたアナリスト22人のコンセンサス予想4391億円を上回った。

年間の配当予想も1株1061円から1189円に上方修正した。中間期は1株524円から562円に、期末は537円から627円に引き上げた。

同時に発表した21年4─6月期の連結営業利益は前年同期比92%増の1417億円だった。ロジック、NAND型フラッシュメモリーの設備投資が高水準で推移し、半導体製造装置の売り上げが伸長した。パネルの製造装置も、中小型有機EL向けが堅調だった。

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ローツェ、ベトナムに新工場建設

2021/8/17 グローバルネット

ローツェは2021年8月3日、グループの生産拠点であるベトナム工場(RORZE ROBOTECH CO.,LTD.)に新工場RORZE ROBOTECH A10を建設することを発表した。

敷地面積は約10,000u、延床面積が約30,000u(地上5階建)。設備投資額は1,620万米ドルを計画している。2021年12月に着工し、2022年8月末の竣工を予定している。ベトナム工場では、2017年〜2019年にかけて工場増築をおこなってきたが、来期以降の需要の拡大と受注増への対応のため、更なる新工場の建設を決定した。
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2021年08月02日

AIメカテック、東証上場 2部 茨城県内企業、今年2社目

7/31(土) 茨城新聞クロスアイ

液晶や有機ELパネル、半導体関連製造装置を製造販売するAIメカテック(茨城県龍ケ崎市向陽台)は30日、東京証券取引所の第2部に株式を上場した。県内企業の新規上場は6月に東証マザーズに上場した車載電池や回路基板の部材となる電解銅箔(どうはく)製造販売の日本電解(筑西市)に続いて今年2社目。東証で上場セレモニーに出席したAIメカテックの阿部猪佐雄社長は「上場で人材確保や新規の取引先確保が期待できる。将来性の方向をはっきりさせ、業績を伸ばしたい」と意気込んだ。

株価は上場に向けて設定した公開価格1920円に対し、初値が1941円、終値は1707円で引けた。売り出し株数は需要に応じて追加するオーバーアロットメントを含め394万1千株。初日の値動きについて阿部社長は「非常にうれしい。初値が(公開価格を)上回ったのは良かった」と安堵(あんど)の表情を浮かべていた。

同社は日立製作所グループの日立テクノエンジニアリングが1990年に操業を開始した竜ケ崎工場が母体。グループ内の再編を経て、2016年に日立製作所から液晶パネル製造設備事業などの新設分割で設立された。日立時代から培った技術力で大型液晶パネル向けや先端半導体向けの装置で世界トップシェアを誇る。

阿部社長は「日立の看板もなくなり、お客さんとの信頼関係もどうなるか不安だった。上場は念願で社員のモチベーションも上がる」と感慨深い様子だった。今後の事業戦略については「持続的な成長を可能にするため半導体事業とIJP(インクジェットプリンティング)ソリューション事業をさらに伸ばしたい。これまで液晶分野が中心だったが、この二つに多くのリソースを投資して利益率を高めたい」と述べた。

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2021年07月28日

韓国のピムス(PIMS)、韓国内の新規顧客に納品開始... シェア拡大続く見通し

2021.07.27 News 2 day [ジャンウォンス記者]

キウム証券は27日、ピムスについて独自に開発した、中小型OLED工程用のマスクを製造するメーカーで、国内および中国のディスプレイ企業を顧客として保有しており、今年は国内最大のディスプレイメーカーを顧客に確保し、営業利益が104億ウォンを記録する見通しだと伝えた。

キム・ソウォンキウム証券研究員は "適切ス中小型OLED工程用のマスクを製造するメーカーで、国内および中国のディスプレイ企業を顧客に置いている」とし「F-maskとS-Maskが主力製品で、昨年の売上高の約75%を占める」とし「両方独自に開発した製品で顧客のニーズに合わせて新たな市場を開拓したことに意義がある」と説明した。

キム・ソウォン研究員は「F-MaskはFMM(Fine Metal Mask)工程の歩留まりや快適さを向上させる補助マスクでピムスの製品を使用することでコスト削減に効率的」と「S-MaskはOMM(Open Metal Mask)のアップグレードされた製品で、既存OMMで蒸着の精度を落とすshadow areaを減少させ、顧客の歩留まり向上に寄与することになる」と述べた。

キム研究員は「またShadow areaが減少すると、ベゼルを減らすことができ、ディスプレイの実装を容易にする」と指摘した。「ピムスの今年の売上高は、前年比75%増の708億ウォン、営業利益は154%増の104億ウォンで史上最大の実績が予想される」とし「昨年は、米国の中国への制裁でBOEへの売上高が不振となり、営業利益率が前年比-7%p減少した」と言及した。

キム研究員は「今年は国内最大のディスプレイメーカーを顧客に確保しシェア拡大が予想され、中国向けの売上高は、BOEを中心に成長する見通しだ」と予想した。「収益性の面では、人材採用は継続されるが、営業利益率は前年比で改善されるだろう」とし「来年は中小型OLED市場の成長、新規顧客内シェアの拡大、営業レバレッジ効果などが反映され売上高は前年比46%増の1030億ウォン、営業利益は79%増の186億ウォンで、最大のパフォーマンスが続くだろう」と診断した。

さらに、「ピムスは現在増設を進めており、来年には最大月に1700枚の生産能力を保有することになる見込み」とし「これにより、年間最大約1800億ウォンの売上高を発生させることができると予想される」と分析した。「OLEDスマートフォン普及率が2020年35%→2021年43%→2022年47%に拡大すると予想され、IT機器へのOLED浸透率拡大も本格化され、S-Mask、F-MaskをはじめとするOLEDマスク市場成長が続くだろう」とし「年内増設完了後、本格的な成長が始まるピムスの積極的な関心が必要だ」と展望した。

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2021年07月07日

○OLEDマスク市場、今年より来年に大きく成長

2021.07.06  The Elec

有機EL(OLED)マスク市場は、今年より来年大幅に成長する見込みである。BOEなど中国パネルメーカーのOLED生産能力と高解像度パネルの需要が一緒に増えている。

6日、市場調査会社オームディアによると、今年のOLEDマスク市場の売上高は前年比10%増の3億5400万ドル(約4000億円)に達する見込みである。この市場は、来年は34%成長して4億7600万ドル(約5400億円)と予想される。

OLEDマスク市場では、ファインメタルマスク(FMM:Fine Metal Mask)の割合が98%と圧倒的である。FMMは、主に中小型OLEDパネルの赤(R)・緑(G)・青(B)などの各発光層を蒸着する際に使用する。この市場は、大日本印刷(DNP)と凸版印刷(Toppan)など日本のメーカーが主に供給している。サムスンディスプレイが生産する高解像度OLEDパネルのFMMはDNPが独占的に供給している。サムスン電子のフラッグシップのスマートフォンギャラクシーSとノートシリーズや、AppleのOLEDのiPhone用パネルが該当する。

FMM市場は今年10%成長した3億4600万ドル(約3900億円)と予想される。来年には35%も急増した4億6700万ドル(約5300億円)と予想される。

FMM市場が大幅に成長している背景は、中国のパネルメーカーの生産能力拡大とライン稼働率の上昇、高解像度の製品需要の拡大である。450PPI(Pixels per inch)以上の高解像度パネルの需要が増えている。サムスン電子が上半期に発売したフラッグシップスマートフォンのギャラクシーS21シリーズの解像度はS21ノーマルタイプが421PPI、S21+は394PPI、S21ウルトラは515PPIである。

DNPは、低解像度FMM市場も攻略する見通しである。これまで他のFMMメーカは450PPI以下の低解像度FMM市場をターゲットにして来た。

OLEDの共通層の蒸着に主に使用されるオープンメタルマスク(OMM:Open Metal Mask)の市場規模は、今年は800万ドル(約90億ウォン)、来年は900万ドル(約100億ウォン)と予想される。成長率は10%程度であるが、市場規模が全体OLEDマスク市場で2%に過ぎない。OMMはリサイクル率が高いためである。

現在、韓国の産業通商資源部は、FMMの国産化の課題に取り組んでいる。日本のメーカーが独占したFMM市場で、韓国メーカーのシェアを確保したためである。DNPのようなエッチング(エッチング)方式ではPoongwon Precision、非エッチング方式ではAPSマテリアルズが2023年までに4ヵ年の開発を実行する。今年初めの開発で中途脱落したエッチング方式のオーラムマテリアルと非エッチング方式のフィルオプティクスはFMMを独自の研究開発中である。ウェーブエレクトロニクスもFMMメーカーである。OMMメーカは韓国内にPoongwon Precision、Sewoo Incorplation、Pims(ピムス)などのメーカがある。
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○韓国のHansong Neotechが有機ELパネルの製造装置で業績拡大

2021年07月06日 ドベル

OLED製造装置のメーカのハンソンネオテク(Hansong Neotech)が有機EL産業での投資拡大に支えられ、営業力を強化している。最近、国内外の顧客とOLED製造装置の納品契約のための具体的な議論を進めている。

6日、業界によると、ハンソンネオテクは2021年第1四半期のOLED製造装置の受注残高が137億ウォンを記録した。全体の売上高の80%ほどを占めるOLED製造装置は、LGディスプレーをはじめ、中国のBOEなどに納品される。ハンソンネオテクは、5月にもLGディスプレーと73億ウォン規模の受注契約を締結した。

さらにハンソンネオテクには年内での追加受注の期待もある。ハンソンネオテクの関係者は、「中国の顧客と追加のOLED製造装置納品の交渉をしている」とし「国内でもモバイルOLEDと大型WOLED市場の投資拡大が予想され、営業を強化している」と伝えた。

ハンソンネオテクはOLED製造工程用の「ファインメタルマスク(FMM)テンション」装置とモジュール装置(レーザートリミング)などを主力製品とする。中小型OLEDパネルをはじめ、大型WOLEDのための製造装置を納品し、技術力も認められている。特に最近のOLED市場は、スマートフォンを中心に大型TVなどに拡大され、需要が増加している。このために国内外OLEDメーカーは生産設備の拡大のための投資に乗り出した状況である。

2015〜2018年に中小型OLED市場が主導した状況とは違って、最近の投資動向は、TVなどの大型家電製品を狙ったWOLEDにも拡大した。WOLED向けの製造装置は、中小型と比較すると価格の面で高いだけに、売り上げの拡大とも直結するものと予想される。

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2021年07月06日

○日本製FPD製造装置、2021年度は前年度比 1.3%増の4,700億円

日本半導体製造装置協会(SEAJ)は2021年7月1日、2021年度から2023年度の半導体・FPD装置の需要予測を発表した。

2021年度の日本製装置全体の販売高は、ロジック・ファウンドリー積極投資に加えて、メモリ全般で高水準の投資が増加していることから、前年度比 22.5%増の2兆9,200億円と予測した。2022年度も、ロジック・ファウンドリを中心に投資水準が維持されると予想し、同51%増の3兆700億円。2023年度も、同4.9%増の3兆2,200億円に拡大すると予測した。

その内のFPD製造装置については、海外渡航制限の長期化影響を受けた2020年度を基準として市場環境を精査した結果、2021年度は前年度比 1.3%増の4,700億円と予測した。2022年度は新しいパネル製造技術の量産普及を見込んで同2.1%増の4,800億円。2023年度も新技術登場による投資の顕在化を期待し同4.2%増の5,000億円と予測した。

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この予測は、半導体製造装置およびFPD製造装置の需要動向に関して、SEAJの半導体調査統計専門委員会およびびFPD調査統計専門委員会による需要予測と SEAJ理事・監事会社20社による市場規模動向調査結果を総合的に議論・判断し、SEAJ の総意としてまとめたものである。

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2021年06月30日

○韓国のFNS TECH、牙山4工場竣工... OLED MASK本格生産

2021年6月30日 UBIリサーチ 

半導体・ディスプレイ製造装置の専門企業であるFNS TECHが、AMOLEDディスプレイ製造の重要部材の蒸着用マスク(OLED MASK)を本格的に生産する。

FNS TECHは29日、牙山市ウムボンミョン牙山デジタル産業団地で牙山4工場の竣工式を開催した。牙山4工場は牙山デジタル一般産業団地内の1万2385uの敷地に132億ウォンを投資して建設した。この工場では、AMOLEDディスプレイのOLED MASKを製造する。

FNS TECHは、2002年に京畿道龍仁で創業して、半導体・ディスプレイ製造装置の分野で独自な技術力を持つ企業に成長した。天安市西北区素材2工場とヅンポテクノバレーの3工場でディスプレイ製造装置、UV Lampなどを生産し、サムスンディスプレイ、BOE(中国)などのグローバル企業を主顧客としている。
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2021年06月17日

○“霧”を用いた透明導電性薄膜の製造 〜表示デバイスのエコな製造革新へ〜

2021年5月20日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン(社長:馬立 稔和、東京都港区、以下「ニコン」)と国立大学法人東北大学多元物質科学研究所(研究所長:寺内 正己、宮城県仙台市、以下「東北大学多元物質科学研究所」)は、水に安定的に分散するITOナノ粒子※1を独自に開発し、環境への負荷が低い成膜方法である「ミストデポジション法」※2による透明導電性薄膜の製造に成功しました。

フレキシブルな液晶パネルや有機ELパネル、太陽電池へのニーズが高まっていることから、ニコンはそれらの製法の1つである「Roll to Roll」工法の研究を進めています。「Roll to Roll」工法で用いる装置本体やその周辺技術について、ニコングループ内にとどまらず、社外の研究機関とも共同で研究・開発をしており、今回の東北大学多元物質科学研究所との共同研究もその一環です。本発表は、「Roll to Roll」工法の実現に近づく大きな成果といえます。

【概要】
透明かつ電気を流す「透明導電性薄膜」は、テレビ・スマートフォンなどの表示デバイスのキーマテリアルであり、環境に優しい製造プロセスが求められています。東北大学多元物質科学研究所の蟹江澄志教授らとニコンは、「透明導電性薄膜」の製造法として、「ミストデポジション法」を開発しました。この手法では、ナノ粒子を含む“霧”を用い、常温・常圧下の環境に優しい条件で、基板上にナノ粒子を緻密に堆積させることが可能です。別途開発したITOナノ粒子の水分散液を用い、「透明導電性薄膜」を製造したところ、常圧下、低温熱処理(150℃)の条件で、実用的なフレキシブルフィルムが得られました。この製造法は、従来のスパッタ法やインク塗布法に比べ、はるかに低環境負荷であり、カーボンニュートラルに大きく貢献します。

本成果は、Springer Nature社が管理するオープンアクセス電子ジャーナル誌「Scientific Reports」に、5月19日(水)付けで掲載されました。

【詳細な説明】
プリンタブルエレクトロニクス※4の分野では、ITOを大気環境下で低温成膜することが難しいため、代替材料としてAgナノワイヤ―などの開発・利用が検討されています。しかしながら、貴金属を用いるため高価であることやエレクトロマイグレーションなどによる劣化が課題となっています。

東北大学多元物質科学研究所およびニコンの共同研究では、ナノ粒子の形状制御に着目することで、高水分散性ITOナノ粒子の開発に成功しました。具体的には、ソルボサーマル合成法において表面に突起形状を設ける粒子設計を行うことで、粒子の親水性を向上させることに成功し、従来品と比べて長期間安定して分散することを確認しました。

本成果により、ITOナノ粒子を原料とした塗布溶液は、有機溶剤や界面活性剤などの高温処理や高抵抗率化の原因となる添加物を加える必要がなく、水系のインクを作製することが可能になりました。このため、従来の粒子では必要であった高温での溶剤や界面活性剤除去が不要であり、一般的な樹脂フィルムが利用できる150℃以下の低温でかつ大気圧下において低抵抗な透明導電膜を得ることが出来ます。大気圧成膜法の一つであるミストデポジション法と組み合わせることにより、PEN基板上に150℃という低温で比抵抗9.0 x 10-3 Ω・cmの膜を得ることが出来ました。ミストデポジション法とは、数MHzの超音波を原料溶液に印加することによって霧化させ、生成したミスト状の原料をガスにより搬送する気液混合プロセスの成膜法です。

PENフィルム上に成膜したナノ粒子膜の断面観察結果より、突起形状を有するITOナノ粒子膜は、その分散性と形態的な特徴によって稠密に配置していることが確認されました。これらの特徴より、界面活性剤を含む市販品のITOナノ粒子膜に対して3桁、東北大学開発の従来粒子膜に比較して1桁程度、低い抵抗値となり、ナノ粒子インクを用いて成膜したITO薄膜としては現時点で最も低抵抗なITO膜となり、真空成膜法での薄膜に迫る値となります。

本研究成果は、東北大学多元物質科学研究所およびニコンの共同研究および科学技術振興機構(JST)による「研究成果展開事業(企業化開発・ベンチャー支援・出資)」プログラム(No.MP28116808198, VP29117939723)の支援により得られました。

【論文情報】
タイトル:A Nanoparticle-Mist Deposition Method: Fabrication of High-Performance ITO Flexible Thin Films under Atmospheric Conditions
著者:Ryoko Suzuki, Yasutaka Nishi, Masaki Matsubara, Atsushi Muramatsu, and Kiyoshi Kanie*(責任著者)
掲載誌:Scientific Reports
DOI:10.1038/s41598-021-90028-6

(参考)ITOナノ粒子の合成に関する論文は下記をご参考ください。

タイトル:Single-Crystalline Protrusion-Rich Indium Tin Oxide Nanoparticles with Colloidal Stability in Water for Use in Sustainable Coatings
著者:Ryoko Suzuki, Yasutaka Nishi, Masaki Matsubara, Atsushi Muramatsu, and Kiyoshi Kanie*(責任著者)
掲載誌:ACS Applied Nano Materials
DOI:10.1021/acsanm.0c01023
posted by 新照明の情報2008 at 15:34| 有機EL製造装置 | このブログの読者になる | 更新情報をチェックする

2021年06月04日

韓国でレーザー加工機用オートフォーカス機器が国産化…ディスプレイ産業で活用

2021年6月4日 コリア・エレクトロニクス

韓国機械研究院(機械研)は3日、大面積ディスプレイの不良を検査する装置を国産化することに成功したと発表した。

機械研は、これまで全量を外国からの輸入に依存していたレーザー加工機用オートフォーカス(Auto-focus)機器の国産化に成功したと説明した。

オートフォーカスは、カメラで写真を撮るときに、目的の被写体がはっきり見えるようピントを合わせるかのように観察対象に焦点を合わせて調節する機能である。

大面積ディスプレイの不良を検査する際に使われる顕微鏡半月形のマスクを適用し、ピントが合うときはっきりとしたレーザービームを、合わないときは半月形の凸部が左右に変わるレーザービームを確認することができる。

焦点が正確に合う位置から、オブジェクトが上・下にどのよう遠ざかるかを確認することができ、迅速に焦点を再調整することができる原理である。

ノ・ジファン責任研究員は、「顕微鏡とレーザー加工機のためのオートフォーカス装置は、国内(韓国)の大企業の主力分野であるディスプレイ産業に広く使用される技術」とし、「国産ディスプレイと半導体装置の工程にこの技術を適用して、国内企業の競争力を高めるために貢献したい」と述べた。
posted by 新照明の情報2008 at 16:33| 有機EL製造装置 | このブログの読者になる | 更新情報をチェックする

2021年04月30日

(求人・募集)開発スタッフ・開発指導【半導体用プローバの向け装置設計・ソフトウェア技術者】◎年収500〜1500万円

【求人・募集への応募資格】
◇装置ハードウェアの技術者は:
・ハードウェア(装置)構造に精通している
・ハードウェア設計の全体または一部を指導できる
・既存のハードウェアを最適化(改良)できる
◇ソフトウェアの技術者は:
・測定システムプロセスに精通している
・測定システムのすべてまたは一部のソフトウェアの開発を指導できる
・既存の測定システムを最適化(改良できる)

【具体的な業務内容】
コンサルタントとして、プローブの設計やソフトウェアの開発を指導します。お客様のご要望に応じて、ハードウェア設計やソフトウェアを変更・最適化することができます。会社のニーズに応じて、エンジニアチームをリードし、技術指導やエンジニアのトレーニングを行うことができます。 日本サプライチェーンの構築を支援することができます。

【年収】500万円〜1500万円

【ポジション】 技術開発指導者、研究テーマのプロジェクトリーダなどの求人です
【募集の年齢制限】無し(定年後の方も歓迎します)

【スキル】
・量産用プローバ装置の製造メーカでの装置開発か設計の経験がある。
・中国語のスキルは特に必要はありません。通訳あり。

【勤務地 】深圳市Semishare社または日本国内からのリモート勤務(ご希望でお決め下さい。)

【募集企業のHP】https://www.semishareprober.com/

【この募集に関するお問い合わせ先は分析工房へお願いいたします】こちらです。


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2021年04月26日

○有機ELで変わるディスプレイ産業、実用化目前の新技術も次々と誕生

2021/04/26 マイナビニュース  著者:Applied Materials Max McDaniel

1990年代初頭、液晶ディスプレイ(LCD)技術がノートPCに採用されたことが、今のディスプレイ業界出現の契機となりました。LCDは、それまでのCRT(陰極線管)ディスプレイとは比較にならないほど薄く、携帯性に優れていたからです。

その後20年間に、LCDはノートPCやニッチ市場向けデバイスを超えて普及して、テレビやモニタではCRTを置き換えたほか、スマートフォンなど新しいデバイスも登場させるなど、ディスプレイ業界を席巻しました。そして今、次の技術交代の波が始まりつつあります。有機発光ダイオード=有機EL(OLED)ディスプレイがコンシューマ機器分野でLCDに取って代わろうとしているためです。そのほかにもミニLED、マイクロLED、マイクロOLEDといった興味深いテクノロジーの登場も近づいてきています。名称が似通っていて紛らわしいですが、これらはどれもはっきり異なる技術で、長所、課題、用途、実用化までの見通しなども一様ではありません。

OLEDの波
OLEDは高コントラスト比で色域が広く画質が鮮やかで、しかも曲げたり折りたたむこともできるなど、各種のフォームファクタに対応が可能です。すでにスマートフォンではOLEDが広く浸透しています(普及率は2021年で40%前後とみられ、今後さらに拡大していくと見られています)。ラップトップやタブレット、モニタなどのより大画面のデバイスでも、今後数年内に採用が進むと見られています。

この「OLEDの波」を受けて、ディスプレイ業界は変貌しつつあります。新設されたスマートフォン工場ではすべてのラインがOLED向けとなっており、近い将来には大画面ファブへの投資もOLED向けとなるでしょう。これはApplied Materials(AMAT)のような製造装置を扱う企業にとっては朗報です。OLEDはLCDに比べて工場の設備投資額がはるかに大きいためです。

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OLEDへの移行は、テクノロジーの巨大な波となり、今後10年にわたって広くディスプレイ分野全体に変革をもたらすと見られています。

ミニLED
ミニLEDはLCDを機能強化するもので、LCDメーカーがOLEDとの性能のギャップを縮めようと開発を進めている技術の1つです。

ミニLEDを採用したLCDは、液晶パネル背後のバックライトにきわめて微細なLED(100〜1,000μmサイズ)を搭載することで、画素の輝度制御を向上させています。

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ミニLEDバックライトは、従来のLCDよりも明暗のコントラストがはっきりしています。これは複数のゾーンで輝度をローカルで調整できることに起因するもので、OLEDと比べてコントラスト性能のギャップをある程度狭めることができます。問題は、費用対効果のトレードオフです。OLEDのコントラスト比にある程度近づけるためには、ミニLEDは10,000個以上のチップとこれを駆動するアクティブマトリクスバックプレーンを備えた高性能バックライトが必要となるためです。このバックライト用バックプレーンは、LCD画素駆動に使われるメインのバックプレーンとは別に用意しなければなりません。結果として、従来のLCDよりは鮮明だがOLEDほどではないディスプレイ、という位置付けになり、しかもコストは少なくとも現行のOLED程度になってしまいます。しかも、OLEDに比べて色域が狭く、レスポンス時間が遅い上に、フォームファクタの厚みも増す、というデメリットも残っています。

マイクロLED

ミニLEDが単にLCDのバックライトを機能強化しただけであるのに対し、マイクロLEDは(OLEDと同じく)自発光型のディスプレイ技術となります。使用するLEDのサイズは50-100μm以下で、それぞれが赤、緑、青のサブピクセルとして機能します。

マイクロLEDは、ほぼあらゆる評価分野でOLEDやLCDと同等以上の性能を発揮します。画質やフォームファクタはOLEDに引けをとらず、しかもOLEDのような堅牢性や寿命に関する課題もありません。輝度はLCDやOLEDを上回り、消費電力も低いという、マイクロLEDはまさに究極のディスプレイ技術と言えます。

しかし、問題点が2つあります。製造の容易性とコストです。製造面での課題の一例が、製造工程のピックアンドプレース方式です。マイクロLEDを一つ一つ画素エリアに配置するのは容易ではありません。4Kディスプレイには2,400万個前後のサブピクセルがあり、8Kディスプレイでは1億個ほどになります。そのため、マイクロLEDディスプレイを作るには、製造されたサブミクロンサイズのLED数千万個を基板から剥離して、それぞれ所定のサブピクセル内に正確に配置して、電気接続を確保する必要があります。この「ピックアンドプレース」工程には歩留まりリスクがつきまとうことになります。花粉の一粒一粒をロボットハンドでつまんで操作するようなデリケートさが求められるからです。現在さまざまなピックアンドプレース技術の開発が進んでいますが、主流のコンシューマ向けディスプレイの生産性や歩留まり要件を満たすものはまだ登場していません。その上、コストの問題もあります。製造性の問題に加えて、数千万個のLEDチップに本来かかるコストの高さを考えると、マイクロLEDディスプレイはまだ主流を占めるにはほど遠いと言わざるを得ません。実際、現在市販されているマイクロLEDテレビの価格は軽く10万ドルを超えています。せめてコストを100分の1以下にしないと、最もハイエンドなテレビという位置付けでも販売は難しいでしょう。

こうした製造面とコスト面の課題があるため、少なくとも今後数年間はマイクロLEDの用途はAR(拡張現実)やウェアラブルデバイス、超ハイエンドの公共情報ディスプレイといったニッチ分野に限定されるでしょう。しかし、イノベーションと改善が進めば、2030年以降には主流のコンシューマ機器分野でマイクロLEDがOLEDを脅かす存在になるかもしれません。その日が来るのが待ち遠しく思えます。

マイクロOLED
マイクロOLEDも、ディスプレイ分野で注目されている新テクノロジーの1つです。1インチ当たり1,000画素以上という高解像度を実現し、VR/AR(仮想現実・拡張現実)などのニアアイ アプリケーションに適しています。マイクロOLEDは、ホワイトOLED(WOLED)技術に類似したフロントプレーンを使って製造できます(ホワイトOLEDは現在、テレビに採用されている技術で、白色光を放つブランケットOLED層を基板上に蒸着し、これにカラーフィルタを重ねて赤、緑、青の透過光を得ます)。しかし高解像度と微細な画素を得るには、半導体製造技術を使ってシリコンウェハ上にバックプレーンを形成する必要があります。

マイクロOLEDは実現可能な技術だが、用途は小型のニアアイ ディスプレイやプロジェクション ディスプレイに限定されると見られ、主流のアプリケーションで現行のOLEDに対抗することは考えにくいです。

まとめ
LCDは30年近くにわたってディスプレイ技術の主流を占めてきました。次の技術転換を担うOLEDはもう現実となっており、今後10年間にファブ投資の新たな波を呼び込むと見られています。これが技術転換の主流になることは確かですが、他の技術も一翼を担おうと狙っています。

AMATは、これらの技術転換は、いずれも事業にプラスになると見ています。OLEDはLCDに比べてファブ当たりの設備投資が約2倍となるため、バックプレーン、フロントプレーンの両方で事業機会が広がるでしょう。ミニLEDはバックライト用に2つ目のバックプレーンを必要とするので、プロセス装置のステップ数が増えます。マイクロLEDは、ダイ製造とハイエンドのバックプレーンに関するさらなるイノベーションが必要であり、フロントプレーン関連におけるAMATの半導体・ディスプレイ技術にとっても大きな機会創出の可能性を秘めています。マイクロOLEDは、ターゲットこそ市場の一部分に過ぎず小規模ですが、AMATのディスプレイとウェハベースのソリューションを生かす好機をもたらすでしょう。

ディスプレイ業界では画期的な新技術が視野に入っており、今後10年間の見通しは明るいと言えます。AMATはお客様や同業他社、パートナー企業とともに、消費者に向けてよりダイナミックで驚きに満ちたビジュアル体験を創出していきたいと考えています。

著者プロフィール
Max McDaniel
Applied Materials
バイスプレジデント、ディスプレイ&フレキシブル テクノロジーグループ チーフ マーケティング オフィサー
2003年に入社後、エンジニアリングやマーケティングを担当。カリフォルニア大学サンタクルーズ校で物理学の学士号、ワシントン大学セントルイス校で経営学修士号を取得。

posted by 新照明の情報2008 at 09:00| 有機EL製造装置 | このブログの読者になる | 更新情報をチェックする

米半導体装置大手のアプライド、24年度までの新財務モデル策定

4/24(土) LIMO

 米アプライド マテリアルズは、2024年度(24年10月期)に売上高267億ドルの達成を掲げた新財務モデルを発表した。20年度比で55%以上の成長を目指す。

新財務モデルの図表を見る

 新財務モデルは、業界の不確実性を考慮してベースシナリオのほか、弱気シナリオと強気シナリオのモデルも組まれている。それぞれ、WFE(Wafer Fab Equipment)の市場想定はベースシナリオが850億ドル、弱気が750億ドル、強気が1000億ドルを見込んでいる。

新品装置は60%以上の成長目指す
 主力の半導体システム部門(新規装置)は、184億ドル(ベースシナリオ)と20年度比で60%増以上の成長を目指す。同部門では顧客のPPACt(消費電力、性能、面積あたりコスト、市場投入までの期間)を改善させていくことに主眼を置き、これが結果的に同社の成長も促すことになるという。

 PPACtを改善させるべく、AIとビッグデータを活用して半導体プロセスにおける開発から製造までの期間短縮を狙ったAixプラットフォームも新たに発表。AixはActionable Insight Acceleratorの略で半導体プロセスのリアルタイム観察、ウエハー全体や個々のチップ状の数百カ所の測定、数千ものプロセス変数の最適化を行うことを可能にし、PPACtを改善させることができる。

 また、最先端プロセスだけでなく、レガシープロセス向けの事業も強化する。具体的な取り組みとして、「ICAPS(IoT、通信、自動車、パワー、センサーの頭文字)」と呼ばれる専門組織を立ち上げており、すでに年間売上高は30億ドルを超える水準となっている。

サブスク型サービスを志向
 サービス事業は61億ドルを計画、20年度比で45%以上の成長を目指す。パーツや保守などの取引から、サプスクリプションによる包括的なサービスに重点を移し、研究開発から工場まで一貫して顧客により良い成果を提供する。同社によれば、今後サービス事業のうち、約7割をサプスクリプションでまかなっていきたい考え。

 ディスプレー事業については、今後有機ELがスマートフォン、ノートパソコン、タブレットなどに一段と普及し、その成長の波が同社にとって有利に働くと予測する。また、24年度までの4年間で、同事業の営業利益を平均して年6億ドル前後に増やす計画。

稲葉 雅巳

posted by 新照明の情報2008 at 08:51| 有機EL製造装置 | このブログの読者になる | 更新情報をチェックする

2021年02月25日

○APSマテリアルズ、韓国産業部からAMOLED用FMM開発企業に選定される

2021.02.24 ET News

APSホールディングス子会社APSマテリアルズは、産業通商資源部の素材部品技術開発事業である「能動型(AM )のファインメタルマスク(FMM)製造技術開発」課題の最終実行企業として選定されたと24日、明らかにした。

APSマテリアルズは、昨年4月から、今回の課題の非エッチング法の実行機関として、1段階の開発を実行したが、今回段階評価で最終実行機関として選ばれた。

APSマテリアルズは、バクヨンボム順天大学の研究チームと協力して、2023年までに計3年間の開発期間中に、FMMスティックの製造技術の開発を進める予定である。

同社の関係者は、「当社のFMMスティック製造技術の優秀性と量産の可能性が立証された」とし「日本からの輸入に依存しているディスプレイ核心部品・素材の国産化に成功の代表的な事例として挙げられることができるように努力する」と明らかにした。

posted by 新照明の情報2008 at 11:52| 有機EL製造装置 | このブログの読者になる | 更新情報をチェックする

2021年02月18日

○FPD露光装置販売、コロナ影響で伸び欠く

2/17(水) LIMO

 2020年10〜12月期のFPD(Flat Panel Display)露光装置の販売台数は、ニコン、キヤノンの主要2社で33台となり、前年同期比で2倍以上に増加した。30台以上を記録したのは、19年1〜3月期以来7四半期ぶり。だが、上期を中心に新型コロナに伴う渡航制限などで据え付け・立ち上げ作業の延期を余儀なくされたことで、20年通年の販売台数は両社合計で52台にとどまった(19年実績は90台)。

ニコンは年間20台に半減
 ニコンは、20年10〜12月期に前年同期比2倍の12台を販売した。内訳は、10.5G用が7台、7/8G用が2台、5/6G用が3台。据え付けが前倒しで進み、前年同期比で増収増益を達成したが、上期の渡航制限などの影響によって、年間ベースの販売台数は19年の40台から20年は20台に半減した。

 中小型パネル用の設備投資は回復基調で、大型パネル用も堅調に推移しているため据え付け作業がさらに進む見通しであり、20年度通期(21年3月期)の販売台数見通しを当初の22台から28台へ上方修正した。内訳は、10.5G用が14台、7/8G用が5台、5/6G用が9台。これにより21年1〜3月期は11台(10.5G用3台、7/8G用3台、5/6G用5台)の販売を見込むことになる。

キヤノンは年間で32台
 20年10〜12月期にキヤノンは前年同期比2倍以上となる21台を販売した。下期の渡航制限解除後に設置再開を急いだ。これで年間の出荷台数は32台まで伸びたが、19年の50台からは大きく減少した。

 21年については、引き続きFPDメーカーの投資意欲は旺盛なため、日本からの渡航の体制を整え、設置要員の現地化も進めて、前年比で倍増以上となる68台の販売を目指す。

 ちなみに、20年11月には6G対応露光装置の新製品として、解像力1.2μm L/Sを実現した「MPAsp-E903T」を発売した。初めてDUV(深紫外=290〜380nm)波長を発光する新光源を搭載し、位相シフトマスクなどの超解像技術によって解像力1.0μmの露光も可能にした。

キヤノントッキの蒸着装置は増収
 一方、グループ会社のキヤノントッキが手がけている有機EL蒸着装置に関しては、渡航制限で設置作業が一時中断したものの、再開後は渡航日程や要員の調整をきめ細かく行ったことで増収を達成した(前期=19年12月期の売上高は765億円)。今後も圧倒的なシェアを維持していくために高精細技術をさらに高め、大型パネル向け装置の開発を進めていく。設置要員のスキル向上や設置作業の工数低減などにも注力していく。

津村 明宏(電子デバイス産業新聞)

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2021年01月20日

○韓国のUniJetが、有機EL封止用のインクジェット装置が選定される、「ディスプレイ革新プロセスプラットフォーム構築事業」

2021.01.20 ET News

ユニジェット(UniJet)は最近に、忠南テクノパーク(TP)の「ディスプレイ革新プロセスプラットフォーム構築事業」で、封止用インクジェット装置サプライヤの入札で最適業者に最終選定されたと20日明らかにした。

ユニジェットは納品実績、提供技術、機能項目などで高い評価を受けた。今回の入札に策定された予算規模は約26億ウォンであった。次世代ディスプレイ技術を確保するために推進されている今回の事業は、7年の間の総事業費5281億ウォンが投入される。忠南テクノパークは、第2世代基板の研究ラインで、総額で1700億ウォン台の事業を進めている。 封止用インクジェット装置、RGB印刷インクジェット装置など60種類以上の次世代ディスプレイ製造装置を導入して、パイロットラインを構築する計画である。

ユニジェット代表は「10年前から国内外のメーカーに薄膜トランジスタ(TFE)封止用インクジェット装置を製作して、供給した実績を認められた」とし「今後、超高解像度の印刷が可能なRGB印刷装置も納品して、次世代ディスプレイ技術を飛躍させる重要な役割をするだろう」と強調した。
posted by 新照明の情報2008 at 15:39| 有機EL製造装置 | このブログの読者になる | 更新情報をチェックする