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2017年09月24日

button_15.jpg  アルバック 有機EL用製造装置を強化

September 21, 2017

アルバックは、有機エレクトロルミネッセンス(EL)用製造装置を強化する。量産用クラスター・インライン成膜装置では、現状のG8・5(5・2平方メートル)向けは日本、韓国、台湾、中国の各拠点を連携し、世界供給体制を構築する。G10・5(同9・9)向けも製品化・受注済みで、国内工場での製造、納品準備を進める。

液晶ディスプレーなどの他の大型フラットパネルディスプレー(FPD)とも水平連携を進め、ディスプレー関連で主要市場の中国でトップシェア、売上高1100億円以上の継続を目指す。

2017年09月23日

button_15.jpg  大川電機製作所、上名倉工場(福島県)に新製造棟

9/21(木) 鉄鋼新聞

 アルコニックスグループの製造子会社で精密機械加工を手掛ける大川電機製作所(社長・中山裕之氏)は上名倉工場(福島県福島市)に製造棟を増築する。建屋建設に約2億円を投じる。余力が乏しかった製造エリアを広げ、切削加工機を増設する。需要増加が見込まれる半導体・液晶製造装置や航空機部品の加工能力を増強し、早期に売上高を25%増の40億円超まで引き上げていく。

 13日に現地で開催した地鎮祭には、中山裕之社長をはじめとした同社の幹部が出席した。既存建屋に隣接するかたちで建設する増築部分は、延べ床面積約900平方メートルを予定。今月から着工に入り、来年3月末の完工を目指す。導入する加工設備はこれから精査していくが、半導体・液晶製造装置や航空機部品を製造するための設備を検討している。
 上名倉工場は、基幹工場である福島工場のキャパシティ不足解消を目的に2016年5月から稼働を始めた第2の拠点。稼働当初は大型加工機2基と3次元測定機という設備構成となっていたが、稼働直後から受注拡大に対応するため設備の増設を実施。福島工場からの設備移設も進めたことで稼働から1年強で製造エリアがタイト化していた。目先についても、半導体・液晶・有機EL製造装置部品を中心に新規加工依頼が増加すると見て工場の増築を決めた。
 上名倉工場の工場増築について、古川隆常務は「半導体製造装置や液晶製造装置向けの加工需要は非常に強く、すでに新しい加工の引き合いもいただいている。これまでも随時設備投資はしてきているが、増築部分が完工したら福島工場との加工効率の引き上げに向けて設備入れ替えやレイアウト変更にも取り組んでいきたい」と説明した。
 アルコニックスの完全子会社である大川電機製作所は、1951年に設立した非鉄金属加工メーカーであり、航空宇宙や医療機器、半導体製造装置関連などへの部材供給で多くの実績を持つ。2010年に帰還したJAXAの宇宙探査機「はやぶさ」や13年9月に打ち上げられた「イプシロンロケット」にも加工部品が搭載されている。
2017年09月10日

button_15.jpg  韓国のアジンエクステック(아진엑스텍 )、OLED製造装置用ロボットの成長で恩恵

2017/09/08 http://insight.stockplus.com/

要約
OLED、産業用ロボット市場の急速な成長に起因するサーボモータ品薄状態が発生
アジンエクステック - サーボモータに入る国内唯一のモーションコントロールチップの開発、生産企業
アップルのOLEDを採用による主要前方産業であるOLED市場の好況
昨年からターンアラウンド進行中、2017年、史上最大の実績予定
転換社債の発行で、自動車電装部品市場への進出足場用意

サーボ(Servo)とサーボ機構(Servo Mechnism)の略で「従う」という意味を持っています。つまり、サーボ(Servo)モーターとは、大型機器で具体的に要求する動きを実装し、制御可能なモータを指します。サーボモータは、単に回転運動をする一般的なモーターとは異なり、「何度回転して、ある程度の角度で停止せよ」は、コマンドまで行い、加えて最高仕様のサーボモータの場合には、360度を40万分の1に切った角度まで繊細に動くことができる機能も含まれています。最近サーボモータの需要先は、既存の自動車製造用の産業用ロボットで始め先端電子産業に市場が拡大しています。

速度および移動の制御が可能なサーボモータの場合には、最近の産業用ロボットやディスプレイとバッテリーなど主要前方メーカーの需要が急速に増加するにつれ、品薄状態が示されてい。代表的な部品産業である産業用ロボット市場の場合には、2010年から本格的に産業用ロボットの販売急激に増加し始め、2010〜2015年産業用ロボットの平均販売増加率(CAGR)は16%を記録し、今後2017〜2019年にも平均+ 13%以上成長すると予想されています。加えて主要前方メーカーであるOLED市場が昨年末から国内のディスプレイメーカーをはじめとグローバルディスプレイメーカーの大規模な投資が本格化に伴い、サーボモータの需要が急速に増加しています。

主な部品メーカーの急速な成長に応じてモーションの制御可能なモータであるサーボモータの需要が爆発的に増加するにつれて、最近サーボモータの供給不足現象が現れています。今日は、サーボモータの需要の増加に応じて恩恵を見ている企業に対して紹介したいと思います。(電子と電池業界の工程が微細化され、繊細な製造設備が必要になるにつれて、生産設備ごとに必要なサーボモータの数が増加しています。大型ディスプレイ製造装置に入るサーボモータが増加している。)

サーボモータは、モーションを制御可能なモータを意味します。つまり、従来のモーターとは異なり、モーションを制御することができる半導体が必要です。アジンエクステックは、サーボモータの動きを制御可能ハゲクムするモーションコントロールチップを製造する企業です。アジンエクステックは、韓国内で唯一のモーションコントロールチップを直接設計し、製造する企業として、現在シェメシュ、ジュソンエンジニアリング、ウォンイクIPS、プロテクトなどのOLED装置メーカーを含めてロボスターなどの製造、ロボットメーカーにモーションコントロールチップを供給してています。その中に、韓国内では外国製製品のモーションコントロールチップを主に使用してきたが、トリアジンエクステックの国産化成功した後、急速に置き換えられています。最近サーボモータの前方産業の成長のために、サーボモータの需要が増加するにつれ、サーボモータに不可欠なモーションコントロールチップの需要も急速に増加しています。

過去の2017年第2四半期トリアジンエクステックの売上高は前年同期比176.0%増の約93億ウォンを記録し、営業利益は前年同期比で黒字転換した22億ウォンを記録しました。アジンエクステックが昨年末からターンアラウンドが行われている主な原因は、主製品であるGMC(モーションコントロールシステム、モーションコントロールモジュール)が部品産業の好況により需要が急速に増加しているからです。主要な製造産業であるOLED、半導体、二次電池などの産業の設備投資の増加に起因する恩恵と製造工業製品の微細化により、過去よりもサーボモータのQが急速に増加している恩恵が発生しています。アジンエクステックは、 現在の再2四半期まで前年同期比売上高は約148.1%増加し、営業利益は35億ウォンに黒字転換した状況で、これらの好実績は下半期にもつながる見込みです。
2017年09月07日

button_15.jpg  平田機工・平田雄一郎社長「愚直なものづくりで故郷に尽くす」

9/7(木) 産経新聞

 生産設備メーカー、平田機工(熊本市北区)が今年6月15日、東証1部に上場し、会社の歩みに新たな1ページを刻んだ。平田雄一郎社長(56)は産経新聞のインタビューに「熊本には世界が驚くものづくり技術がある。愚直に励み、熊本地震からの故郷の復興に尽くしたい」と語った。 (村上智博)

 東証1部を強く意識したのは、平成27年11月です。東京で開いた決算説明会の翌日、空を見上げると雲一つない青空でした。

 ぼおっと空を眺めていると、なぜだか自然に「東証に打って出なければならない」という気持ちが、わき起こりました。

 駅で役員に「よし、東証1部に行くぞ。真剣だぞ」と言いました。

 その後、昨年4月に熊本地震がありました。

 発生から2カ月後に、本社を東京から創業地の熊本に移転しました。

 地震を経て、「平田機工」という田舎くさい名前で、熊本から上場することこそが、私たちのプライドだと考えるようになったのです。

 上場によって、さまざまなステークホルダー(利害関係者)に信頼感を与え、世界中からより多くの仕事を熊本に持ってくるのが可能になります。それが故郷への恩返しになり、熊本の復興につながる。そう思ったのです。

 実際、熊本に進出したものづくり企業が、地震で県外に流出するのを思いとどまったと耳にしたときは、うれしかったですね。

 上場の式典には、父で社長、会長を務めた耕也の遺影を持っていきました。

 耕也は上場をずっと夢見ていましたが、24年に他界しました。「父と一緒にセレモニーの鐘をならしたい」。そう考えたのです。

 遺影の裏側には、熊本地震で亡くなった社長秘書の牧野富美さん=当時(46)=の写真も貼りました。父も彼女も、天国できっと喜んでくれていると思いました。

 上場後、時価総額が1千億円を超えました。工場を持ち、ものづくりをする銘柄では非常に珍しいと言われました。

 ただ、上場のお祝いはできません。熊本地震の影響による犠牲者(震災関連死)の数は、いまなお増えているからです。

 「復興は途中で、仮設住宅で暮らす方も多い。今後10年20年かかるかわからないが、熊本が本当に復興したといえるまでは、お祝いはしません」。社員にはこう言って、頭を下げました。

 平成30年3月期の売上高は900億円を見込みます。東証1部への上場は、企業としての目標を、ひとつひとつクリアし、成長するスタートなのです。

 これからも郷土の復興に、できることを粛々とやっていきます。

 ■ロボット、電気自動車

 平田機工は、工場のラインを作る、いわば「工場を作る工場」です。世界の他の企業がまねできない技術を、持っています。

 今後、本社の隣接地に、70億円かけて新工場を建設し、生産態勢を強化します。インテル(米国)やダイソン(イギリス)など、世界の超一流の取引先が熊本に来たときに、恥ずかしくないような工場です。

 半導体や小型ロボット、(ディスプレーに使われる)有機ELの生産装置を作ります。

 自動車分野では、電気自動車に注目しています。伸び率が高く、新しい技術も次々と出ている。この分野の受注は、引き続き好調だろうとみています。

 そのほか産業用ロボットでは、中国の需要が旺盛です。これまでは日本国内で生産し、輸送していましたが、今年7月から上海の子会社で生産・販売を始めました。中国での競争力強化に、つながると思っています。

 他のメーカーからも「平田のロボットがほしい」といわれます。OEM(相手先ブランドによる生産)供給も今後、年間2千台くらいを想定しています。

 世界がまだ作れない。だからこそ、私たち平田機工が作るのです。
2017年09月06日

button_15.jpg  SUNICシステムの第6世代有機EL蒸着装置が、LGディスプレイE5量産ラインで稼動

○2017.09.05 ET News

SUNICシステムが製造した第6世代の有機EL(OLED)蒸着装置が、LGディスプレイの量産ラインで本格稼動した。これまで日本のキヤノントッキが独占してきたOLED蒸着装置の市場に、強力な競合として浮上した。SUNICシステムは、今月のコスダック上場で確保した公募資金で研究開発(R&D)を加速する方針だ。

SUNICシステム(CEOが Park Jae-kyu、CEOが Lee Young-jong) は、LGディスプレイのE5量産ラインに設置されたOLED蒸着装置が本格稼動したことをきっかけに、21日にコスダック市場に上場する。予想公募金額は約693億〜825億ウォンである。

SUNICシステムは、昨年にLGディスプレイに6世代フレキシブルOLED用蒸着装置を納品した。売上高が2015年288億ウォンから2016年1437億ウォンに成長した。今年上半期には718億ウォンを達成した。営業利益は、2015年49億ウォンの赤字から2016年233億ウォンの黒字転換した。今年上半期には104億ウォンを記録した。

1990年に創業したSUNICシステムは、2009年東亜エルテック・バレアに買収された後、OLED蒸着機事業を再整備し、成長基盤を築いた。LGディスプレイと、2013年に6世代ハーフカット方式のOLED蒸着装置の開発契約を結んで、昨年に量産装置を供給した。

第6世代量産装置を製造する前には、エバーディスプレイ、チャイナスター、ワイズチップ、アップルなど第2.5世代、第4世代、5.5世代量産用装置と照明用の製造装置を製造した。研究、材料の開発、マイクロディスプレイなどのための第1世代蒸着装置は、アップル、メルク、ダウ、BASFなどに納品した。全体で、世界の50以上の企業に141台の機器を納品した。輸出比率は昨年で42.6%、今年上半期で72%に達している。

LGディスプレイが最初の量産を開始したフレキシブルOLEDは、E5ラインで作られる。LGディスプレイが第6世代フレキシブルOLED量産に初めて挑戦し、SUNICシステムも初の量産装置を供給した事例なので、歩留まりと品質への業界の関心が大きい。

Lee Young-jong(SUNICシステムCEO)は、「世界1位フレキシブルOLEDサプライヤも、現在の収量を確保するまでに約5年かかった」とし「安定的に生産に貢献しており、今後の成績はより向上するだろう」と自信を見せた。 SUNICシステムはE5での量産が安定期に入れば、本格的に国内外市場の投資に対応する計画だ。正式な量産性を確保したい海外企業へ、迅速に技術力を知らせることができるからである。坡州に設けた新工場を中心に韓国内の顧客に対応し、既存の水源工場で中国など海外顧客に対応する予定である。

キヤノントッキに続いて、量産用の6世代フレキシブルOLED蒸着装置を供給したので、今後のグローバルな2強体制を確立する覚悟だ。ライバルである韓国のSFAと日本のアルバックは5.5世代の量産装置供給の経験があるが、第6世代はまだ供給事例がない。韓国のヤスは第8世代のインライン蒸着機に注力しており、中小型パネル向けの第6世代の装置はない。

CEOは「SUNICシステムは蒸着、蒸着源、搬送などの蒸着トータルソリューションをすべて保有して、競争で優位にある」とし「今後の超高解像度の需要に対応できる新しい蒸着装置も準備している」と述べた。
2017年09月05日

button_15.jpg  メルコジャパン、丸森に7億円投資

9/5(火) 日刊産業新聞

 ステンレス流通・加工のメルコジャパン(本社=宮城県伊具郡丸森町、栗田鋼二社長)は有機EL向け部品、半導体製造装置向け真空チャンバー材、航空機部品の加工に注力するための設備投資を加速する。2017年度は丸森工場(第一・第二)で約7億円、18年度には補助金を活用するなどして約20億円を投じ、海岸工場(宮城県亘理郡山元町)に新工場を建設する計画。同工場では今期新たに角型ステンレスの旋盤加工を開始しており、3拠点の連携により収益拡大を目指す。
2017年09月02日

button_15.jpg  AP Systems、1,000ppiの解像度を持つFMMの開発に成功

2017年 8月 31日 UBIリサーチ

28日に韓釜山にあるBEXCOで開催された「iMiD 2017」で、韓国AP SystemsはUSPL(Ultra-short Pulse Laser、超短パルスレーザー)で、1,000ppiの解像度を持つFMMの開発に成功したと発表した。

FMMは、画素とRGB有機物を蒸着するため、OLEDの解像度と歩留まり率を決める要素となる。現在のFMMは、主にエッチング(Etching)方式で製造されている。この方式は、微細パターンの精密度、厚さ、重さによるShadow現象が生じる問題があり、この問題を解決するためにレーザー加工、電鋳(Electro-Forming)など、様々なFMM製造工程が開発されている。

その中で、レーザー加工方式は、レーザーを照射する際に発生する熱(Thermal Effect)による微細な穴(ピンホール)の周囲にバリ(Burr)が生じるという問題がある。このバリは、FMMにおいてShadowの発生を増加し、RGB有機物を蒸着する際にパターンが重なる現象をもたらすことで、OLEDの解像度を低下させる。

AP Systemsはこのような問題を改善するために、バリ発生の現象を起こさず、テーパー角(Taper Angle)を制御する‘Burr-Free Laser Process’を開発した。

Burr-Free Laser Processは、単方向のパルスを一定回数に分けて短く照射する方式で、レーザーを 連続的に照射しないため、蓄えられていた熱エネルギーが最小化し、バリの発生を防ぐ。また、レーザーのエネルギーを制御することで、エネルギーを蓄えてテーパーを形成する方式である。

AP Systemsは、この方法について「1,170ppiのFMMのみならず、微細な穴の形状が四角型、ダイヤモンド型、多角型などの様々な形状を持つFMMも製造した。また、USPL方式が採用された大面積FMMの製造装置の開発にも成功した」と説明した。






また、AP SystemsはFMM製造装置について「マルチビーム(Multi-beam)とUSPLが装着されており、生産性の向上とUHDの実現ができる」と付け加えた。

2014年にGalaxy Note4を発売した以降、まだOLEDの解像度はQHD程度に留まっている。高解像度(UHD以上)を持つOLEDを製造するためには、FMMが技術的に直面している様々な問題を解決しなければならない状況である。そのため、今後のOLED市場において、AP SystemsによるUSPL技術が、どのような影響をもたらすかに注目が集まる。
2017年08月21日

button_15.jpg  SCREEN、車載用の有機EL製造装置に参入

○2017/8/18 日本経済新聞

 半導体・液晶製造装置大手のSCREENホールディングスは年内に車載用の有機ELディスプレーの製造装置事業に参入する。内装の形にあわせて曲げられる有機ELは今後、自動車のインパネやセンターコンソール部分で採用が進む見込み。同業他社より低コスト生産が可能な大気中で作業できる製法を取り入れ、普及を後押しする。

 生産・販売するのは、有機ELを曲面ガラスに貼り付ける装置。曲面のカバーガラスに、有機ELを付着させたフィルムを空気やゴミが入らないようローラーで貼り付ける。まず最大80センチメートル四方のガラスにまでフィルムの貼り付けが可能な製品を生産し、今後顧客の要望にあわせて、より大型のガラスにも貼り付けられるようにする。

 シャープ製品のディスプレー製造機器を手掛けていたFUK(現SCREENラミナテック)を7月に買収しており、同社の技術を生かす。同業他社製品は真空の容器内での作業が必要だったが、同社製は大気中での貼り付け技術が可能。真空を作る手間やコストが省け、角度や圧力、貼り付け速度の微細な調整が可能になる。価格は数千万円程度を見込む。

 装置は滋賀県彦根市の彦根事業所での量産化を視野に製造し、大手車載用部品メーカーなどに販売する見通し。民間調査会社の推計では、自動車向けの有機ELディスプレーの出荷枚数は現在の年4万枚から、2020年には18倍程度にまで拡大する。現時点で有機ELを安定供給しているのは、サムスン電子とLGディスプレーの韓国2社のみだが、日本やアジア各国で有機ELへの投資が相次いでいる。
2017年07月10日

button_15.jpg  中国市場での日韓の有機EL蒸着装置の受注競争

○2017.07.07 ET News

韓国と日本の企業が中国のフレキシブル有機EL(OLED)蒸着装置の市場で競争している。最近の受注競争で、両国の企業が一進一退を繰り返し、戦いが熱い。中国では今年から来年までOLED投資が続く。序盤の受注競争での形勢が今後、世界の蒸着装置業界の趨勢を決めるので韓国企業は死活をかけている。

5日、業界によると、今年の6世代フレキシブルOLED有機物蒸着装置の発注を控えたとGVO (GoVisionox)、エバーディスプレイ、BOE、チャイナスターにおいて、韓日の装置企業間の競争が熱くなった。

今年の最初の勝利はキヤノントッキであった。最近のGVOの第6世代フレキシブルOLEDライン用蒸着装置で、キヤノントッキが事前評価(Evaluation Results)で1位を占めた。最終的な評価の過程で問題が発生しない場合、事前評価1位の企業が最終落札者として選定される。

キヤノントッキは、サムスンディスプレイの6世代フレキシブルOLEDラインに有機物蒸着装置を全量供給した。安定量産をした成功経験が強みである。中国のBOEにへも有機物蒸着装置を全量供給した。

GVOは第6世代OLED生産用の蒸着装置を発注した。韓国企業のSFAが昨年10月にGVOに5.5世代ラインの蒸着装置を2台の供給し、第6世代での受注期待感が大きかった。当時は6世代規格パネルを4枚に分割する装置であったが、2枚に分割するハーフカット方式は供給できず、受注が困難であった。

最近に6世代フレキシブルOLED投資を確定したエバーディスプレイは下半期最大の決戦場となる見通しだ。月3万枚規模で2019年第2四半期に量産を開始する。

エバーディスプレイでは、韓国SFAと日本のキヤノントッキ、ULVACなどが競争している。今年の下半期にステップ1の投資を開始し、来年上半期に第2段階の投資に乗り出すと予測される。

中国のBOEが今年末に発注することが予想されるB11ラインも激戦地だ。BOEはB7に3段階にわたる投資をし全量をキヤノントッキの蒸着装置を使用する。他の蒸着装置の企業が入る可能性は少ない。しかし、BOEのほか、複数のパネルメーカーがキヤノントッキの蒸着装置を必要としており、競合他社がこの隙間を攻略する余地がある。

今年の下半期に開始のチャイナスターの最初の6世代フレキシブルOLED設備発注にも関心が集中している。検証されたキヤノントッキの装置を使用する可能性がある。韓国のSUNIC System がチャイナスターの研究開発(R&D)のラインに蒸着装置を供給した経験があり、LGディスプレーの第6世代ハーフカット方式の量産装置を供給したので、新しいビジネス協力の可能性を狙える。

イチュンフンUBIリサーチ代表は「キヤノントッキの生産能力は年間4〜5台に過ぎなかったが、最近積極的に増設に乗り出し、年間12台レベルになったものと思われる」とし「昨年、韓国と中国のパネルメーカーがキヤノントッキの装置を確保するために競ったが、今では納期は大きな問題ではない」と説明した。

Current status of small and medium OLED organic deposition equipment suppliers and their contracts

▲SFA ΔTruly (4.5th generation pilot) ΔGVO (5.5th generation) ΔRoyole (5.5th generation)
▲SNU Precision (Changed its biggest shareholder to SFA in December of 2016) ΔBOE (5.5th generation + test line) ΔGVO (5.5th generation) ΔTianma (R&D line)
▲SUNIC System ΔLG Display (6th generation) ΔCSOT (R&D line)
▲Canon Tokki ΔSamsung Display (6th generation) ΔLG Display (6th generation) ΔBOE (6th generation) ΔSHARP (6th generation)
▲ULVAC ΔTianma (6th generation) ΔJapan Display (6th generation pilot)

button_15.jpg  OLEDON、面蒸発源FMMからAMOLEDの未来を発見!

○2017年 7月 3日 UBIリサーチ

2014年、Galaxy Note4に初めてQHD(約515ppi)OLEDが採用されて以来3年経過したが、OLEDの解像度はまだQHD解像度に留まっている。UHD以上の高解像度OLEDを製造するためには、15um以下のFMMが必要だが、様々な技術的な問題で、量産には採用できていない状況である。

6月30日に韓国ソウル市汝矣島にある全経連会館で開催されたUBI Researchの「上半期セミナー:OLED市場分析と最新技術セミナー」で、韓国檀国大学実験室ベンチャーのOLEDON代表ファン・チャンフン教授は、UHD以上の高解像度OLEDを製造する唯一の方法で、面蒸発源FMM蒸着技術を提示した。

ファン教授は「AMOLEDの解像度を向上するためには、有機分子ビームの蒸発角を10度未満に抑え、TFT素子のアスペクト比(Aspect Ratio)を1.0程度に維持しなければならない。現在、知られている線形蒸発源(Linear Source)の蒸発角度(入射角)は約40度であり、Shadow Distanceは約3um、SUHDレベルのAMOLEDパターニング工程を経る際に、パターンの幅、Shadow Distanceの割合、アスペクト比が増加する。結局、今のパターニング技術では、薄膜のUniformity(均一性)が減少してしまう」と述べた。

また、ファン教授は「線形蒸発源蒸着技術だと、QHD以上の解像度を実現するには限界があり、面蒸発源 FMM蒸着技術だけが、2000ppi以上のOLEDを製造できるたった一つの方法だ」と強調した。


<ファン教授が発表した2250ppi AMOLEDの技術的な問題点、参考:UBI上半期セミナー>

OLEDONの面蒸発源 FMM蒸着技術で測定したShadow Distanceは0.68~1.05um、入射角は13~19度で、解像度に換算すると最大1500ppiの素子を製造することができる。新たに開発したX面蒸発源では、Shadow Distance0.38~0.56um、入射角は7.2~80度で、解像度に換算すると最大3300ppiの素子を製造することができる。先日のSID2017でも、ジン・ビョンドゥ教授とファン・チャンフン教授のチームは、面蒸発源パターニング蒸着技術を採用し、世界で初めて測定したサブミクロン(Sub-micron)スケールのShadow Distance結果を紹介し、今後スケールアップのための開発で、大型OLEDディスプレイ生産に応用する場合、11K(2250ppi)以上のスーパーウルトラ(SUHD)解像度を持つマイクロAMOLED素子を製造できると発表したことがある(論文名:Plane Source evaporation techniques for Super ultra high resolution flexible AMOLED)。


<面蒸発源FMM蒸着技術によって収集されたSub-micron Shadowデータと入射角データ、参考:UBI上半期セミナー>

OLEDONは、今回の開発結果を基に、面蒸発源を活用した超高解像度のマイクロOLED素子を製造できる研究用面蒸発源 FMM蒸着機を檀国大学内で開発・設置する計画を明らかにした(OLEDON 公式ウェブサイトwww.oledon.co.krを参照)。
2017年06月28日

button_15.jpg  ニコンに「劇的大復活」がありえる、FPD露光装置

6/28(水) ビジネス+IT

 ニコンといえば、デジカメの販売台数激減のショックに加えて、半導体製造用の露光装置でオランダのASMLにシェアを奪われ、前期はリストラを断行して最終赤字転落を余儀なくされ「再起不能か」とまで言われた。それが今期は一転、劇的なV字回復を遂げる可能性までささやかれている。なぜニコンに大復活もありえるのか。そこにはニコンの“虎の子”ともいえる事業の存在があった。

東京エレクトロン新中計の「サプライズ」

 5月31日、半導体製造装置の世界トップ級メーカー、東京エレクトロンが、新中期事業の目標を発表した。

 目標年度2020年3月期の半導体前工程(WFE)の市場規模見通し(全世界)を、2015年7月発表の旧中計の300〜370億ドルから420〜450億ドルへ大幅に上方修正。自社の売上高目標も7200〜9000億円から1兆500億円〜1兆2000億円へ、最大1.5倍に上積みするという内容だった。

 この発表を受け、翌日の6月1日から半導体関連銘柄がにわかに活況を呈し、5月31日の終値と比べた株価は東京エレクトロンが6月9日までに8.3%、ディスコが7日までに5.9%上昇し、年初来高値を更新した。そんな半導体関連ブームが起きた中、徐々に株価を上げて6月20日までに6.7%上昇したのが、ニコンだった。

 ニコンと言えば前期、2017年3月期は最終赤字に転落するほど業績が急激に悪化し「負け組の筆頭」とか、「再起不能か?」とまで言われた。

 2013年3月期に1兆円を超えていた売上高は7,488億円で、4年間で売上の約4分の1が失われた。営業利益は2013年3月期の510億円に対して509億円でほぼ同じだが、当期純利益は424億円の黒字から71億円の赤字に転落してしまった。

 業績悪化の直接の引き金は、連結売上高の6割以上を占めていたニコンのカメラが売れなくなったことだった。2017年3月期の映像事業の売上収益は26.4%減、営業利益は39.3%減と大幅に悪化している。

 製品別では、看板製品の一眼レフ(レンズ交換式デジタルカメラ)の販売台数は23.2%減、交換レンズは21.6%減だったが、コンパクトデジタルカメラが壊滅的に売れなくなって48.7%減と、1年でほぼ半減した。

 カメラの販売激減に加え、インスト事業は営業利益が2016年3月期の28億円から3億円に激減し、メディカル事業は営業赤字から抜け出せないまま。2017年3月期の業績悪化見通しを受け昨年11月、ニコンは構造改革計画を打ち出した。

 「選択と集中」を旗印に1000名規模の希望退職募集、200億円の固定費削減、480億円のリストラ費用計上という大ナタをふるい、映像事業では国内で350名規模の人員適正化を行った。そのリストラ費用の特別損失計上によって、通期決算は最終赤字に転落した。

半導体露光装置はライバルASMLに完敗

 だが、それ以前からニコンは、もう一つの柱である精機事業で「半導体露光装置(ステッパー)(注)世界シェアの長期低落」という重大な問題を抱えていた。

注)半導体露光装置:シリコンなど半導体の板に、電子部品の回路パターンを光学的に焼き付ける装置。光の波長が短いほどより微細な加工ができる。

 2000年頃まで、この装置でニコンは世界シェアの4割以上を占めるトップで、キヤノンとともに日本製の独壇場だった。しかし2016年時点のシェアは「i線」ではまだ20%あるが、より微細な加工ができる「KrF」は8%、「ArF液浸」は8%で、昔日の面影はまったく消え失せている。

 ニコンに代わって現在トップシェアを占めているのは、オランダのフィリプスから1984年にスピンオフし、アメリカのSVG(シリコンバレーグループ)を吸収合併して業容を急拡大したASMLという企業だ。

 微細度が大きくないタイプのi線はキヤノン(57%)にトップを譲って23%だが、KrFは62%、ArF液浸ではシェアが92%もある。半導体露光装置の世界シェア争いで、ニコンはASMLに完敗してしまった。

 ニコンとASMLはかつて装置の特許をめぐって訴訟合戦を繰りひろげ、2004年にいったん和解しニコンは和解金を得たが、今年4月、訴訟合戦が再開している。もし敗訴すればニコンはトドメを刺されかねない。

 ニコンは本当に「再起不能」なのか? だが今期、再び起って闘うのに十分な環境は、すでに用意されている。

FPD製造装置という「ニコン最後の希望」

 ニコンの精機事業は2015年3月期に売上高1707億円、営業利益83億円まで落ち込み、営業利益率は4.8%しかなかった。それが2年後の2017年3月期には売上収益2476億円、営業利益510億円までリカバリーし、営業利益率は20.5%まで回復している。

 精機事業の2期連続の業績回復の主役は、液晶パネル(FPD:フラットパネルディスプレイ)の製造工程で使われるFPD露光装置(注)という製品だった。

注)FPD露光装置:液晶パネル、有機ELパネルの画素(赤・緑・青)を構成する薄膜トランジスタ(TFT)の回路パターンを、光学的にガラスのプレートに焼き付ける装置。半導体露光装置の技術を応用している。

 ASMLに完敗した半導体露光装置の通期の販売台数は、2017年3月期は前期比1台減の34台で、2018年3月期見通しは27台と低迷から抜け出せない。市場シェアは台数ベースで16.1%である。しかしFPD露光装置のほうは2017年3月期、ちょうど2倍の92台に増え好調だった(中古品の販売を含む)。世界市場シェアは台数ベースで71.8%を占めて2位のキヤノンを大きく引き離し、トップシェアを独走している。



 つまり、FPD露光装置は精機事業の、いや、最終赤字を喫したニコン全体にとっての「最後の希望」なのだ。東芝にとってのNAND型フラッシュメモリーや、ソニーにとってのC-MOSイメージセンサーと、似たような存在だろう。

今年の年頭と比べれば環境は変わってきた

 FPD露光装置の今期、2018年3月期の販売見通しは24台減(26.0%減)の68台と控え目。「前期は出来すぎだった」という見方で、それを反映して精機事業の今期見通しは売上収益が9.1%減の2250億円、営業利益が11.7%減の450億円と、減収・2ケタ営業減益の見込みになっている。

 映像事業のほうはカメラの販売減が続いて減収でも、営業利益見通しはリストラによる固定費削減効果が出て2.5%減に踏みとどまる見通しなのと比べると、対照的に見える。

 ニコンがFPD露光装置で弱気の販売見通しを出した背景には、業界団体の需要予測の悪さもあったと思われる。今年1月に一般社団法人日本半導体製造装置協会(SEAJ)が発表した、日本製装置の全世界における「半導体・FPD製造装置需要予測」によると、半導体製造装置は2016年度から2018年度にかけてプラス3.4%、プラス1.1%と需要が伸びていくのに対し、FPD製造装置(露光装置だけでなく製造装置全体)は逆にマイナス7.6%、マイナス12.5%と需要は縮小する方向だった。

 だがこれは今年1月段階の見通しである。東京エレクトロンが5月31日に発表してサプライズを巻き起こした新中計の見通しでは、同社のFPD製造装置(露光装置以外も含んでいる)の売上高は2017年3月期の493億円から、2018年3月期見込みは700億円、2020年3月期見込みは800億円と、業界団体見通しとは逆に右肩上がりだった。今期は41.9%の大きな躍進を見込んでいる。

 露光装置ではトップシェアで、最新タイプの「7世代」の販売台数が今期13台から34台に増える当初見通しがあるニコンが、仮にシェアを落としたとしても東京エレクトロンの売上約4割増の躍進を横目に販売台数が2ケタ減を喫するとは、考えにくい。おそらく今期どこかの時点で、ニコンはFPD露光装置の販売見通しの上方修正を行うだろう。業界環境は今年上半期、大きく変わっている。実際、6月27日、ニコンはFPD露光装置の生産能力を最大2倍にする増産投資に動くと報じられた。

 液晶の需要自体も、調査会社のIHSマークイットが5月21日に発表した「産業用ディスプレイ装置の世界市場予測」によると、テレビ用液晶パネルは2017年の2兆6113億枚から2020年には2兆8257億枚へ、8.2%増加する見通し。大型ディスプレイもモバイル端末向けの液晶も、中国の需要に引っ張られると想定している。アップルが今秋発売を予定する新作「iPhone」で採用される有機ELディスプレイの製造工程にも、ニコンとキヤノンが世界シェアを分けあうFPD露光装置が使われている。

半導体製造装置もニコンは恩恵を受けられる

 半導体の需要見通しも上半期に大きく変わった。米国半導体工業会(SIA)発表の4月の世界半導体出荷金額(3ヵ月移動平均)は前年比20.9%増で、北米市場とスマホ需要がV字回復した中国市場が引っ張った。

 メモリー市況は1年前を底に急回復している。WSTS(世界半導体市場統計)は6月、2017年の世界の半導体市場の見通しをプラス3.3%からプラス11.5%へ大幅に上方修正。ガートナーも同様に5月にプラス12.3%に上方修正している。その根拠は液晶同様に中国市場で、モバイル端末向けの半導体需要が大きく伸びる予想だ。

 それに伴って設備投資も伸びるのは必定。東京エレクトロンの2018年3月期の売上高見通しは9800億円だが、アナリストの大方の見方は「少なくとも1兆円オーバーに上方修正するだろう」。今年上半期、にわかに活発化した世界的な半導体投資ブームの恩恵を「半導体関連負け組」のニコンも受けられる可能性は決して小さくない。そう言える大きな理由は、ニコンの事業戦略にある。

 半導体露光装置でニコンのシェアは大きく縮小したが、「i線」「KrF」「ArF」の微細度別の製品群はフルラインナップで抱え続けている。その点は高微細度のArFの競争を回避し低コストのi線のトップシェアを死守するキヤノンや、ArFのシェア拡大に集中したASMLとは、戦略が異なる。

 しかもニコンは、大規模なリストラを断行しながら設備投資、研究開発投資の額はほぼ前期並みを維持している。設備投資は前期322億円で今期は300億円、研究開発投資は前期636億円で今期620億円だ。FPD露光装置なら「7世代」、半導体露光装置なら「ArF液浸」のような、製品化フロントラインの開発にも投資を惜しまない。

 半導体メーカーが設備増強を急ぎ、半導体露光装置の需要全体が押し上げられたら、フルラインナップを維持している我慢が実を結ぶ可能性も、なきにしもあらず。

 半導体・液晶の業界環境が大きく好転している今期、販売台数減を見込む半導体露光装置、FPD露光装置がもし販売増に転じる見通しになったら、2018年3月期は最終利益が340億円の黒字に戻る業績見通しの上方修正は、まず確実だろう。中国市場などでの環境の好転が想定を大きく超える結果を残せば「劇的な数字」になることもありうる。

 ニコンが不死鳥のようによみがえるシナリオは、もう現実味を帯びている。ASMLとの訴訟合戦の行方や不振が続く映像事業のような不確定要素も存在しているが、「再起不能」とまで言われたニコンの「奇跡のV字回復」に、期待してもいいのではないか。

経済ジャーナリスト 寺尾 淳
2017年06月21日

button_15.jpg  中国でもQHD OLED生産の時代になる...大日本印刷(DNP)がシャドウマスクを供給

○2017.06.19 ET News

中国がQHDの解像度の有機EL(OLED)を生産する。韓国が独占していた生産体制が崩れ、中国製のQHDスマートフォンの増産も予想される。

19日、業界によると、サムスンディスプレイと大日本印刷(DNP)が結んだ中小型OLEDスマートフォン用シャドウマスクの独占供給契約が、今年初めに有効期限が切れた。DNPのシャドウマスクはQHD解像度のOLED生産を可能にする。 DNPは、排他的な契約が終了になると、中国のパネルメーカーとシャドウマスクの供給契約を結んだと伝えられた。中国のこのパネルメーカーは、BOEであることが分かった。

これまでDNPは、サムスンディスプレイにOLEDスマートフォン用シャドウマスクを独占供給してきた。厚さが薄く微細なサイズの穴を製造することができる独自の技術力で、サムスンディスプレイと、世界の中小型OLEDスマートフォン市場を独占してきた。

シャドウマスクは、ファインメタルマスク(FMM)工程で赤緑青(RGB)の発光層の有機物を蒸着、画素を形成させる。有機物を任意の位置に微細かつ正確に蒸着させて、解像度と歩留まりを向上させることができる。このため、技術難度が高い重要部品である。

シャドウマスクは、厚さが薄く穴を微細に製造することが重要な技術である。粉末状の有機物を高熱でガス化して蒸着する際に、蒸着方向とシャドウマスクの厚さのために、有機物のパターンが重なって蒸着されるシャドウ区間の発生の問題を最小限に抑える必要がある。シャドウ区間が大きくなるほど解像度が落ちるからである。 DNPは、高温でもシャドウ区間が増えたり、たるみ現象を最小化するよう、熱膨張係数(CTE)が低く、厚さが薄いシャドウマスクを製造することができる重要技術を保有しており、サムスンディスプレイに10〜20マイクロメートル(㎛)レベルの薄いシャドウマスクを独占供給してきた。

DNPは、サムスンディスプレイとの独占契約が完了しても、サムスンディスプレイに供給した同じ製品を他社に販売することができない。しかし、DNPがこの分野で高い技術力を持つので、制約を受けないその他の製品を他のパネルメーカーに供給することで、パネルメーカーはサムスンとの技術格差を減少できることが予想される。

中国のパネルメーカーがDNPとすぐに協力した。中国のパネルメーカーは、中小型OLEDで技術力が低下し、フルHD(1920×1080)の解像度の開発が停滞している。DNPのシャドウマスク技術を適用すると、QHD(2560×1440)の解像度パネルの開発を加速することができる。

業界によると、DNPは、中国パネルメーカーに30㎛級の厚さの製品を供給する予定である。サムスンディスプレイが使用されるシャドウマスクよりも厚いが、QHD解像度の実装には大きな問題がないことが分かった。 サムスンディスプレイはDNPに依存するシャドウマスクを国産化するためにウェーブエレクトロニクスやチジオテックなど、国内企業と協力している。しかし、技術難度が高く、韓国内での国産化が容易ではないことも分かった。
2017年06月16日

button_15.jpg  平田機工、東証1部に

2017/6/16 熊本日日新聞

 生産設備メーカーの平田機工(熊本市)は15日、株式の上場市場を東京証券取引所のジャスダックから市場1部に変更した。東証1部への上場は県内製造業では初めて。

 設立67年目で念願を果たした平田雄一郎社長(55)は「昨年は熊本地震があった。熊本で生まれ育った企業として、一つでも多くの仕事をつくり、恩返しをしたい」と抱負を述べた。

 初値は、前日のジャスダック市場の終値を90円下回る1株1万1820円だったが、すぐに反発し、終値は前日比470円高の1万2380円だった。企業価値を示す株式の時価総額(終値ベース)は1331億円。九州の東証1部上場企業44社の中では13番目で、西日本鉄道(福岡市)に次ぐ規模となった。

 同社は1951年、熊本市で設立。81年に本社を東京に移したが、熊本地震後の昨年6月、復興に貢献しようと本社を熊本市に戻した。

 17年3月期の連結売上高は、半導体や自動車関連の生産設備の受注が好調で、過去最高の805億円。株価の水準は2年前の約10倍に上昇している。

 この日は東京・日本橋兜町の東証で上場セレモニーがあり、平田社長が上場通知書を受け取り、記念の鐘を鳴らした。(嶋田昇平、猿渡将樹)
2017年06月13日

button_15.jpg  ユニジェット、インクジェット印刷技術で世界のTFE市場を開拓

2017.04.18 ET News

インクジェット印刷装置企業のユニジェット(代表ギムソクスン)がフレキシブル有機EL(OLED)の第6世代の薄膜封止(TFE)の装置の量産に挑戦する。韓国と中国の有機ELディスプレイ企業を対象に、6世代装置の供給を初めて行う。

ユニジェットは、2017年の6世代TFE製造装置を開発、量産ラインに供給する計画だと18日明らかにした。

ユニジェットは2002年に設立されて以来、産業用インクジェット印刷技術の開発に邁進してきた。携帯電話のパネル前面の精密素材向けに、ハードコーティング用のインクジェット技術を初めて商用化した。2012年には、ドイツのフィリップスのOLED照明パネル向けにTFE機器を供給した。TFE装置をOLED量産ラインに適用した事例となった。

ユニジェットは、これまで蓄積したインクジェット印刷技術をもとに、最新の第6世代規格の装置を開発した。現在のディスプレイの量産ラインに供給された第6世代TFE装置は、米国カティーバやLG素材・生産技術院(PRI)も製造している。

button_15.jpg  有機ELディスプレイ製造装置メーカの売上が急拡大し、今後も成長を継続する

2017.06.08 ET News

韓国の多くのディスプレイ製造装置の企業が、世界の売上高ランキングで上位に躍進した。韓国と中国でのディスプレイの投資が集中した恩恵を受けたからである。今後の数年間はフレキシブル有機EL(OLED)を中心に投資基調が続く見通しであるので、韓国の装置企業の成長も続くものと期待される。

市場調査会社のディスプレイのサプライチェーンコンサルタント(DSCC)資料によると、2017年の第1四半期の世界のディスプレイ製造装置企業の売上高上位のSFA(3位)、APシステム(9位)、テラセミコン(11位)、Jusungエンジニアリング(13位)、アバコ(14位)などが名を連ねた。これらの企業はサムスンディスプレイとLGディスプレーのOLED関連装備を大量に供給できる技術力とブランドとして知られ、市場で高い関心を受けた。


<表。世界のディスプレイ装置企業2017年第1四半期の売上高シェアのランキング(資料= DSCC)>

DSCC集計によると、第1四半期のディスプレイ装置の市場規模は、前年同期比93%増の45億ドル(約5兆611億ウォン)を形成した。設備投資も前年同期比106%増の89億ドル(約10兆80億ウォン)が執行された。

韓国と中国のディスプレイメーカーが集中的に設備投資に乗り出しフレキシブルOLEDへの投資が集中し、関連装置の企業が急速に成長した。

第1四半期の売上高で1位を達成したキヤノンは、露光機と蒸着機市場では、それぞれシェア50%以上を占めるが、昨年同期比で504%成長した。ディスプレイ全体の装置市場の売上高の16%を占めた。DSCCによると、キヤノンは、2014年第3四半期以来初めてニコンを抜いて、より多くの露光装置を販売した。子会社のトッキはOLED蒸着機の分野で市場支配的な地位であるとの発表である。

アプライドマテリアルズは、フレキシブルOLEDの封止工程のプラズマCVD(PECVD)の需要増大に支えられ市場シェアの9%を占めて2位であった。

3位は、韓国企業のSFAである。ディスプレイ用物流自動化装置を多数サムスンディスプレイに供給し、有機物蒸着装置を、中国のパネルメーカに輸出する成果を上げ、シェア6%を記録した。ニコンとアルバックもそれぞれ6%を占めたが、売上高成長率はエスエプエイより少なかった。

APシステムは、フレキシブルOLED工程に不可欠なレーザリフトオフ(LLO)とレーザー結晶化(ELA)装置を供給して売上高が9位になった。売上高シェアは2%である。

テラセミコンは11位を記録した。ポリイミド(PI)溶液を薄膜にするキュアリング装置と熱処理装置を提供する。前年同期比成長率は572%で、上位17社の中で最も成長率が高かった。 このほか、Jusungエジニアリング(13位)、アバコ(14位)、SNUプレシジョン(15位、SFAに買収された)、ビアトロン(17位)がそれぞれ順位を上げた。

DSCCはフレキシブルOLED装置技術に強みを持つ企業が今後も急速に成長すると予想した。ポリイミドコーティング分野の東レエンジニアリング、ポリイミド硬化装置を提供するテラセミコンとビアトロン、APシステム、アプライド、ジュソン・エンジニアリング、薄膜封止装置を提供するカティーバを挙げた。

韓国と中国のパネルメーカーがOLEDと大型LCDに継続して投資しており、今後も韓国と中国の機装企業がシェアをさらに拡大すると予想した。フレキシブルOLED工程に自動化分野が増えるほど、この分野の機器市場も急速に大きくなると見通した。 DSCC のCEOは「世界のディスプレイ装置の市場は、スマートフォンを中心にLCDからOLEDに置き換えられてLCD工場より投資額が最低2倍から5倍まで増加し、OLEDファブ向けの投資が増え、前例のない成長を享受している」とし「今後10年以上、このような投資の流れが続くだろう」と見通した。 また、「現在の60インチをはじめ、大型4K TVパネルの供給がタイトであるので、数年内に少なくとも5つの10.5世代工場ができれば、生産費と製品の価格を低減するのに効果的」とし「新10.5世代工場投資は、ディスプレイ装置の市場を新たな次元に引き上げるだろう」と付け加えた。
2017年06月03日

button_15.jpg  OLEDON、檀国大学校と次世代高解像度パターニングができる蒸着技術の共同開発に成功

2017年 6月 2日 UBIリサーチ

先日のSID 2017で、檀国大学校ジン・ビョンドゥ教授と同大学兼任教授であり、韓国OLEDON代表ファン・チャンフン博士は、0.38umのShadow Distance(SD)を実現できる面蒸発源パターンイング蒸着技術の共同開発に成功したと発表した。

ファン代表は、昨年開催された2016 IMIDビジネスフォーラムで、面蒸発源(Plane Source Evaporation)と厚さ100umのShadow Maskを用いて1.1umのShadow Distanceを実現できたと発表したことがある。当時、ファン代表は、「Step Heightを3umまで抑えると、理論上ではShadow Distanceを0.38umまで実現できるため、OLEDパネルの解像度を2250ppi以上に上げることができる」と説明した。

この発表は、実際に面蒸発源を採用し、SDを0.38umまで実現させた実質的な結果であるため、量産への採用可能性を一層高めることにつながり、今回SID 2017に来場した業界関係者から大きく注目を集めた。

現在、OLEDパネルの量産技術は、約3umのShadowを生成し、QHD(約600ppi以上)解像度を実現するには限界があった。3umのShadowは、UHD(約800ppi以上)AMOLEDパターニング工程を行う際に、隣接した微細パターンが重ね合され、微細パターンの密度が低下する。そのため、現在のOLEDパネルは、QHD解像度のみ生産している。

OLEDONが開発した面蒸発源パターニング蒸着技術が、量産に採用されると、Shadowの距離を0.38~0.56umの範囲まで縮めることができるため、解像度は従来の約8倍まで上がる。また、規模を拡大するための開発を続け、大型OLEDパネル生産産業にも採用されたら、3300ppi以上の超高解像度を持つスーパーウルトラHD(SUHD)解像度のマイクロAMOLED素子が製造できるようになる。


<面蒸発源蒸着技術によって収集されたShadow Data>

ファン代表は「高真空環境で金属面に有機物を蒸発及び蒸着し、有機分子薄膜を形成した後、再び蒸発を行い、基板にコーティングのため蒸着するというアイディアから、有機分子ビームの蒸発角を最小限に抑えられる条件を発見した」と述べた。


<ファン代表がSID2017で発表した面蒸発源の原理>

最近、ディスプレイの解像度への関心が高まりつつあり、OLEDONによる研究結果は、関連業界に大きい変化をもたらすと見られている。

ファン代表は、蒸着装置専門メーカーを始め、25年間新しいコンセプトの蒸着技術開発に取り組んでおり、面蒸発源による蒸着技術関する特許(下向式熱的誘導蒸着による線状の有機素子量産装置:登録番号101206162000)を取得した。
2017年06月01日

button_15.jpg  【Finetech Japan 2017】ブイ・テクノロジー、738ppiのUHDを実現するFHMを公開

2017年 5月 31日 UBIリサーチ

4月5日に東京ビッグサイトで開催されたFinetech Japan 2017で、ブイ・テクノロジー(ブイ・テクノロジー)は738ppiのUHDを実現できる‘FHM(Fine Hybrid Mask)’を公開した。

従来のFMM(Fine Metal Mask)は、架張と溶接で製造される。しかし、この製造方式は難しいだけではなく、パターン(穴)と自重によるたわみなど、マスクの構造的な限界で、高解像度の実現は中々できなかった。

昨年のFinetech Japan 2015で、ブイ・テクノロジーはこのような欠点を改善したFMMのコンセプトを発表したことがある。2年後、今回の2017では、コンセプトを具現化し、量産可能なプロトタイプのFHMを公開したのである。



ブイ・テクノロジーのFHMには、従来の製造方式とは異なり、Electroforming方式とNon-tension構造が採用された。関係者によると、この方式でFMMの重量を従来の1/10まで軽減し、自重によるマスクのたわみと影の影響に関する問題も解決できたと述べた。また、製造方式を変更することで、FMMの精密度を向上し、738ppiのUHDが実現できたと付け加えた。

ブイ・テクノロジーは、FHMとともにFHMを活用できる垂直型蒸着システム(Vertical Deposition System)のコンセプトを公開した。このシステムは、ガラス基板とFHMを垂直に搬送し、各々最大2枚まで同時蒸着することができる。

また、ブイ・テクノロジー関係者は「垂直型蒸着システムは、蒸発源とFHMとの距離を縮め、拡散光によるStep Coverage(段差被覆性)とUniformity(均一性)の低下に関する問題を改善した。蒸着装置が垂直型であるため、不純物がFHMやガラス基板に付着しにくくなり、歩留まり率を向上することができる」と語った。



最近、高解像度に対する消費者のニーズを高まり、そのニーズを満足させるために関連業界の動きが活発化している中、ブイ・テクノロジーのFHMが一つの解決策になるか、今後の展開に注目が集まる。
2017年05月19日

button_15.jpg  有機EL高精細化のキーパーツ、蒸着用メタルマスク

○2017.04.03 電子デバイス産業新聞

投信1編集部によるこの記事の注目ポイント

韓国のサムスン電子だけではなく、米アップルなども注目する有機ELディスプレー市場の立ち上がりに重要な製造工程資材の蒸着用メタルマスク。
そのメタルマスクには「熱膨張を極力小さくする」ことが強く求められます。
現時点で、スマホ用有機ELディスプレーの量産に用いられているメタルマスクは、すべてエッチング方式で製造されており、参入メーカーは大日本印刷(7912)、凸版印刷(7911)、台湾のDarwin Precisions(達運精密工業)。その他の方式でも日本のメーカーの存在感には注目です。
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次世代スマートフォン(スマホ)用ディスプレーの本命として期待される有機ELディスプレー。韓国や中国のディスプレーメーカーが新工場や新ラインの建設計画を相次いで具体化させており、調査会社の予測では、2020年に現在主流のLTPS(低温ポリシリコン)TFT液晶を搭載率で上回り、スマホに最も搭載されるディスプレーになる可能性があるとされている。その有機ELディスプレーの高精細化・高解像度化を担うのが、RGB発光材料の蒸着工程に不可欠な蒸着用メタルマスクだ。

スマホ用有機ELの解像度は現在、5.5インチクラスで400ppi程度であり、同サイズのLTPSに遠く及ばないが、「3D用に1000ppi、VR(仮想現実)端末用に2000ppiがほしいという要望があると聞いている」(ディスプレー部材メーカー担当者)といい、現在のところ3つの方式で製造されるメタルマスクが開発競争にしのぎを削っている。その3方式とは、(1)エッチング、(2)電鋳、(3)ハイブリッドである。

FMM成膜工程で使われる

まず、メタルマスクの使われ方を解説する。

現在量産されているスマホ用有機ELディスプレーは、そのほとんどが有機EL層の成膜に真空蒸着方式を採用している。この成膜工程において、RGBそれぞれの発光材料を色ごとに塗り分けるため、ガラス基板やフレキシブル基板に対向してメタルマスクを配置することで、マスクパターンに応じて任意の位置にRGBの発光材料が成膜される仕組みになっている。この方式を一般的にFMM(Fine Metal Mask)と呼んでいる。

より高精細・高解像度な有機ELディスプレーを製造するには、このFMM成膜工程において、メタルマスクの開口部を微細に加工して、きめ細やかにRGBを塗り分けることができるようにする必要があり、かつ正確な位置にRGB発光材料を蒸着させるため、ガラス基板と精密に位置合わせすることが求められる。

現在のスマホ用有機ELディスプレーは、第6世代(6G=1500×1850mm)の基板を半分にカットした「6Gハーフ」と呼ばれるサイズで蒸着工程を行っている。従来はもっと小さなガラスにしか成膜できなかったが、6Gハーフまで基板サイズを大型化できたことで量産効率が上がり、LTPSとほぼ同等にまで製造コストを下げることができるようになった。基板の大型化に伴い、FMMに用いられるメタルマスクも大型化してきたのだが、メタルマスクが難しいのは「伸びても重くてもいけない」という制約があるためだ。

伸びても重くてもいけない

真空蒸着工程では、有機EL材料を加熱して気化させ、これをメタルマスクの開口部を通して基板に成膜する。しかし、このプロセス温度によってメタルマスクが大きく熱膨張してしまうと、大型マスクであればあるほど成膜位置のズレが大きくなってしまい、RGBパターンがきれいに形成できなくなる。これが有機ELディスプレーの量産に大型基板を採用するのが難しい理由であり、メタルマスクには「熱膨張を極力小さくする」ことが強く求められるのだ。このため、現在主流のメタルマスクには、熱膨張が小さい合金であるインバー材が主に使用されている。

また、高効率・高スループットで有機ELディスプレーを製造するには、RGB発光材料の成膜時間を短縮することはもちろん、基板やメタルマスクの搬送時間を短くする必要がある。そして、短時間で正確な位置合わせを可能にするには、メタルマスク(マスク固定用のフレームも含む)が重すぎてはいけない。重いと、搬送用のロボットアームに高い剛性が求められるし、慎重な搬送に時間を要するからだ。

「精密なパターン加工ができ、熱膨張せず、軽い」。これが高精細・高解像度な次世代スマホ用有機ELディスプレーの製造に求められるメタルマスクの理想像なのだ。

現在の主流は「エッチング方式」

現時点で、スマホ用有機ELディスプレーの量産に用いられているメタルマスクは、すべてエッチング方式で製造されている。参入メーカーは、大日本印刷(DNP)、凸版印刷、台湾のDarwin Precisions(達運精密工業)。このなかで、スマホ用有機ELディスプレーの大半を量産している韓国サムスンディスプレーにはDNPが供給しているといわれ、メタルマスク市場で圧倒的なシェアを誇っている。Darwinは、台湾の大手ディスプレーメーカーであるAUOのグループ会社。AUOの有機ELディスプレー生産量はまだ少量だが、台湾HTCが開発・販売しているVR端末「VIVE」向けに供給しているとされる。

DNPは16年5月、メタルマスクを増産すると発表し、20年までに広島県の三原工場に60億円を段階的に投資して、生産能力を現状の3倍に引き上げる。有機ELディスプレーメーカーの積極的な設備増強計画に対応し、生産能力の拡張でシェアを拡大して、20年に売上高300億円を目指す。同社は電子デバイス産業新聞の取材に対して、「現在は技術の完成度からエッチング方式で製造しているが、さらなる高精細化への開発を継続して行っている」と述べている。

電鋳は「デザインの自由度が高い」

電鋳方式の利点は、基材に金属を盛り上げて形成するため、開口部のサイズやデザイン、マスク全体の厚みを調節しやすい点にある。参入メーカーは、アテネと日立マクセル。アテネは、電鋳技術を用いてレコードを大量にプレスするスタンパーを製造していた企業として知られ、雑誌の付録などでよく見かけたフォノシートは、ほとんど同社のスタンパーで製造されていた。この原版製造技術をメタルマスクに応用展開しており、アテネは有機ELディスプレーの量産ラインに採用実績を持つ。日立マクセルは、国内ディスプレーメーカーと共同で電鋳方式によるメタルマスクの大型化に取り組んでいるようだ。



アテネの電鋳マスクパターン

アテネは、低熱膨張の電鋳材料として、京都市産業技術研究所と共同でFe-Ni合金を開発した。これに得意とする電鋳生産技術を組み合わせ、厚さ5μmを実現できるFe-Ni合金製の薄型メタルマスクの開発に成功している。一般的なNi-Co合金を用いて電鋳で作成したマスクに比べて、熱膨張率を半分にできる。同社が実施したヒーティング試験によると、一般的なNi-Co合金マスクは130℃に加熱すると著しいたわみが生じるが、Fe-Ni合金の電鋳マスクにはたわみが生じなかった。磁性に関してはインバー材と同等であり、従来のNi-Co合金を使用した電鋳マスクよりも強い磁性を有している。

ハイブリッドは「とにかく軽い」

ハイブリッドメタルマスクは、樹脂と金属を組み合わせたものだ。ブイ・テクノロジーが実用化を進めており、16年に開催された「第26回 ファインテックジャパン」に参考出展した。同マスクは、厚さ5μmのポリイミドフィルムに同社製のレーザーパターニング装置で開口パターンを形成後、ニッケル層を電鋳技術で形成し、開口した後にサポートメタルで周囲を保護した構造を持つ。樹脂と金属のハイブリッド構造によってマスクを薄くできるため材料の抜けが良く、既存マスクでは±3μmといわれる成膜の位置精度を±2μmに向上することができる。画素の開口位置精度も±1μmを実現しており、6インチで738ppiのパターニングを可能にした。


ブイ・テクノロジーのファインハイブリッドマスク

既存マスクはインバー材で製造され、これにテンション(張力)をかけてマスクフレームに強固に溶接されているが、ハイブリッドメタルマスクはテンションが不要。このため、マスクフレームを含めた重量を大幅に軽量化できる。このマスクの製造には同社製レーザーパターニング装置を用いるため、同社がマスクサプライヤーとして展開することや、同装置やマスク製造ノウハウを供与することなど、事業化に向けて様々な可能性を検討している。

2019年に市場は4倍へ

調査会社IHS Markitは、有機EL用ファインメタルマスク市場が16年の2億500万ドルから19年には8億200万ドルへ4倍に拡大すると予測している。ディスプレー各社が今後数年間で有機ELの生産能力を大幅に拡大すると目されるためで、特に18年以降に6G用マスクの需要増が市場拡大の牽引役になるという。同社の調べによると、16年末時点ではサムスンディスプレー向けがマスク市場の大部分を占めているが、19年にはサムスン以外のパネルメーカーがマスク市場の1/3を構成するようになると予測している。

有機ELディスプレーはこれまで、ほぼサムスン1社が開発し、量産を立ち上げ、市場を開拓してきた。ゆえに、サムスンが量産に用いたプロセスや装置・部材が事実上の業界標準と考えざるを得ないのが現状だが、有機ELディスプレーへの参入メーカーが増加し、ディスプレーの高精細化・高解像度化が進む今後は、様相が変わるだろう。3方式いずれにも大きな成長のチャンスがある。

電子デバイス産業新聞 編集長 津村明宏

投信1編集部からのコメント

以前から次世代ディスプレーとして注目されている有機EL。歩留まりの低さや大型化の困難さが言われ続けてきましたが、それらをクリアするための技術革新は絶え間なく行われています。中でも、その生産工程で重要となる蒸着用メタルマスクの動向には今後も注目です。今回の記事で紹介されている方式のうちどれが主流になるかも見逃せませんが、いずれのケースでも日本のメーカーがうまく商機を手にできるかをウォッチしていきたいと思います。

button_15.jpg  日新電機、有機ELの製造工程向けイオン注入装置が急増、受注高は前年約+40%増

2016.05.16 投信1編集部

爆買いが追い風? 決算発表翌日に大幅な逆行高

好決算を受け逆行高を演じる

日新電機(6641)は2016年5月12日に2016年3月期決算を発表しました。実績は増収増益、会社計画に対する利益は超過達成となり、2017年3月期も増収増益の見通しが発表されました。

電機セクターでは、スマホ景気の減速や円高のマイナス影響から慎重な見通しを発表する企業が多い中、こうした好決算が発表されたため、決算発表翌日である5月13日の同社の株価は、日経平均株価が下落するのを尻目に、大幅な逆行高を演じました。

日新電機は京都に本社を持つ老舗中堅重電メーカー

日新電機は京都に本社を持つ中堅重電メーカーです。創業は1917年で電力会社向け電力コンデンサ−を祖業とし、現在は電力会社や工場・大型商業施設向けの送変電機器、太陽光発電用パワコン、液晶・半導体製造装置などを展開しています。

余談ですが、京都の老舗企業らしくCSRもユニークで、昭和の文豪である谷崎潤一郎がこよなく愛し作家活動に勤しんだ旧宅、「石村亭」の保存活動にも注力しています。

中国の爆買いと有機EL投資の拡大が好調の背景

好業績の背景として最も注目できるのが半導体・液晶製造用装置(イオン注入装置)を主力とする「イオン・真空応用装置事業」の受注好調です。同事業の2016年3月期の受注高は前年同期比約+40%増と高い伸びとなりました。

同社のイオン注入装置は、スマホ用小型液晶や有機ELの製造工程には不可欠な製品であり、世界的に高いシェアを確保しています。このため、国策として液晶を強化中の中国メーカーや、液晶から有機ELへの転換を進めている日韓メーカーからの引き合いが急増していることが、今決算でも改めて確認されました。

今後の注目点

同社においても、やはり気になるのは、中国からの爆買いがいつまで続くのかです。中国は国策として液晶を強化中であるため、しばらくは旺盛な投資が継続される可能性があるものの、いずれは現在の鉄鋼産業と同じように、多くの“ゾンビ企業”が出現するリスクは頭の片隅に入れておきたいと思います。

また、製造装置についても、中国が国産化政策を強化しないかも注意が必要です。いずれもすぐには顕在化する可能性が低い“テールリスク”ではあるもの、そうした最悪ケースに備えて、イオン注入装置の好調という“一本足打法”からの脱却が進むかを注視していきたいと考えます。
2017年05月07日

button_15.jpg  APシステム とユニジェット、有機ELパネル封止のTFEトータルソリューションを共同で開発する

2017.05.07 ET News

韓国の有機ELディスプレイ製造装置の企業であるAPシステムが、インクジェット印刷の製造装置企業のユニジェットに投資した。フレキシブル有機EL(OLED)工程に使用する薄膜封止(TFE)製造装置市場に参入する計画である。TFE量産装置の市場を独占している米国のカティーバに挑む。

7日、APシステムとユニジェット(유니젯)によると、最近にAPシステムは、ユニジェットが発行する40億ウォン規模の転換社債(CB)を買収することに合意した。まず、30億ウォン規模転換社債を買収し、残りの10億ウォンは、共同開発事業が完了した後に支払う。

両社は、蒸着技術とインクジェット印刷技術を合わせて量産性を引き上げたTFE装置の開発に協力するために、今回の投資協力を決めた。 ユニジェットは、2002年に設立された産業用インクジェット印刷技術の専門企業である 2012年にドイツ・フィリップスにOLED照明用のTFE量産装置を供給した。現在は第6世代ディスプレイ用TFE装置を開発している。

APシステムは、長期間ディスプレイ蒸着技術を研究開発した。PECVD(プラズマ化学気相蒸着装置)より薄膜を均一に整え、不純物を最小限に抑えることができるALD(原子層堆積)装置、EMIシールド素材を蒸着する装置など、様々な分野の真空蒸着技術力を開発した。

フレキシブルOLED工程で有機物材料を水分と空気から保護するために、有機膜と無機膜(CVD)を順次成膜する工程を経る。

このとき無機膜の組成の条件に応じて、有機膜の性質も変えるなど、各膜質組成が重要である。しかし、異なる機器メーカーが機器を納品してみると、全体薄膜を最適な状態するために、パネルメーカーに負担がかかる問題が発生した。

両社は、この点に着目した。TFE製造機器と蒸着装置を一緒に開発したトータルシステムを構成する各薄膜を有機的に連携して開発することが、最適の膜質を実装することができると見た。APシステムが長い間蒸着技術を研究してきたし、ユニジェットはインクジェット印刷技術を研究開発して、量産装置まで納品した経験があるだけに相乗効果をもたらすことができると判断した。

今回の投資を皮切りに、両社はTFEトータルシステムを開発するために共同研究開発に乗り出す。APシステムが大規模装置を量産することができるインフラストラクチャと海外営業網を備えているので、ユニジェットは、今後の研究開発機器はもちろん、量産装置を製作・販売することができるサポートシステムを確保することになった。 両社の優先目標は、米国のカティーバが掌握したTFE製造装置を国産化するものである。現在、サムスンディスプレイはカティーバの装置を、LGディスプレイはLG PRI装置を使用している。蒸着装置は、米国アプライドマテリアルズが両社に大部分を供給する。TFE・蒸着トータルシステムで、有力な海外の競合他社を抜いて国韓国産の装備の割合を高めるという青写真を描いた。

中国進出も狙う。ほとんどの中国のパネルメーカーがフレキシブルOLED量産技術の確保に困難を経験するように競争力のある代案を提示することができるものと見た。

APシステムの関係者は、「ユニジェットは、従来のように独立した経営を維持しながら、TFE・蒸着トータルシステムを一緒に研究開発することになる」とし「APシステムの技術 インフラ、ユニジェットの技術力を合わせて新しい市場に参入するために努力する」と説明した。
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